Série CYV. Cilindro sem haste para vácuo. ø15, ø32. Cilindro pneumático para tranporte em ambientes de vácuo (1.3 x 10-4 Pa)

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1 Cilindro sem haste Série CYV ø15, ø32 ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Componentes Cilindro pneumático para tranporte em ambientes de vácuo (1.3 x 10-4 Pa) Simplifica e reduz o tamanho do equipamento Visto que o cilindro pode ser instalado dentro de uma câmara de vácuo, simplifica e reduz o tamanho de uma unidade de transporte. Câmara de vácuo (Unidade de transporte) Série CYV (Desenho conceptual)

2 Cilindro sem haste Série CYV ø15, ø32 Formação 1 reduzida de partículas Forma o de part culas [part culas/ciclo] Ciclos de trabalho Construção sem contacto Não existe formação de partículas devido à fricção, visto que a construção não permite contacto entre a superfície externa do tubo do cilindro e a superfície interna da mesa linear. Mesa linear Tubo do cilindro Sem contacto Cilindro pneumático para Formação reduzida de partículas Formação média de partículas (partículas >0.1 µ) é de 0.1 partículas/ciclo. (Condições atmosféricas) Nota 1) Estes dados indicam a deterioração com o tempo do número médio de partículas por operação nas seguintes condições de teste. <Condições de teste > Cilindro : -100 Massa da peça: 5kg Velocidade média: 100mm/s mbiente de medição: Funcionamento na atmosfera depois de lacado a 150 C durante 48 horas. Nota 2) Estes dados são considerados típicos mas não garantidos. Nota 3) Foi efectuado um teste de formação de partículas num ambiente de vácuo de 10-⁵Pa. Formação 2 reduzida de partículas Guia linear em aço inoxidável e lubrificação com formação reduzida de partículas formação de partículas na guia linear foi reduzida com a utilização de uma guia linear em aço inoxidável e lubrificação com formação reduzida de partículas. Formação 3 reduzida de partículas Formação de partículas inicial reduzida impo, montado, inspeccionado e embalado numa primeira fase num ambiente limpo. t Tubo do cilindro especial Cursos longos (Máx. 700mm) É utilizado um tubo do cilindro especial em alumínio extrudido. Não existe flexão ou contacto mesmo em cursos longos, visto que o cilindro está rigidamente colocado na base e a mesa linear é independentemente suportada pela guia linear. Formação 4 reduzida de partículas Formação reduzida de partículas nas extremidades do curso formação de partículas foi reduzida nas extremidades do curso reduzindo o impacto através de um amortecimento sinusoidal e interrompendo o curso com um batente interno. celeração de impacto [m/s²] Velocidade [mm/s] Relação entre a velocidade e a aceleração do impacto

3 ransferência em ambientes de vácuo (1.3 x 10-VPa) Concebido cuidadosamente para formação reduzida de partículas, fuga reduzida e libertação reduzida de gás. Fuga:1.3 x 10 - ⁷Pa m³/seg ou menos Fuga 1 reduzida Fuga [Pa m 3 /seg] 10 - ⁷ 10 - ⁸ 10 - ⁹ Utiliza um cilindro sem haste acoplado magneticamente sem fugas de ar nas peças em movimento. Fuga Fuga reduzida 2 reduzida (a temperaturas normais, excepto na permeabilidade de gás) Valor standard Resultado do teste de fugas 10 - ¹⁰ Tempo [min] s juntas tóricas separam o vácuo da atmosfera. São utilizadas juntas tóricas em todas as juntas entre o vácuo e a atmosfera. Nota 1) O gráfico acima mostra os resultados do teste de fugas com base num teste efectuado utilizando esta construção de cilindro. Nota 2) Para permitir ajustes finos do curso, são instaladas juntas tóricas para separar o vácuo da atmosfera. Consulte a SMC se o método de utilização de vedantes precisar de ser alterado. Nota 1) Os dados indicam a fuga medida num ambiente de vácuo de 10 -⁵ Pa. Nota 2) Os resultados do teste de fugas indicado foram obtidos com base num teste efectuado durante 10 minutos depois de o cilindro ter sido pressurizado com hélio a 0.1 MPa. Nota 3) Estes dados são considerados típicos mas não garantidos. Junta tórica ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Componentes 1 Redução da libertação de gás devido ao tratamento da superfície ibertação ibertação reduzida de gás reduzida de gás Todas as peças externas (feitas em liga de alumínio) tal como o corpo e a mesa linear são niqueladas electrolíticos. Para além disso, os ímans externos são revestidos com nitreto de titânio. Nota 1) Consulte a SMC se forem necessárias outras características para o tratamento de superfície. ibertação 2 reduzida de gás Materiais de resina eliminados indicação com laser é utilizada para designação do modelo. Indicação laser justes finos no fim do curso Podem ser feitos ajustes finos entre 2 e 0mm num lado ( 4 e 0mm para os dois lados). Chave sextavada

4 Cilindro sem haste Série CYV Como encomendar CYV Cilindro sem haste Diâmetro 15 15mm 32 32mm Curso standard Diâmetro (mm) Curso standard (mm) 15, , 150, 200, , 350, 400, , 600, 700 Características técnicas Diâmetro (mm) Pressão do ambiente de trabalho tmosfera de trabalho Fluido Funcionamento Pressão de teste Margem da pressão de trabalho Fuga Temperatura máx. de aquecimento Temp. ambiente e do fluido Velocidade do êmbolo juste do curso mortecimento Rosca da ligação ubrificação tmosfera a 1.3 x 10 - ⁴ Pa (S) r e gases inertes r e gases inertes Duplo efeito 0.5MPa 0.05 a 0.3MPa 1.3 x 10 - ⁷ Pa m³/seg ou menos (a temperaturas normais, excepto na permeabilidade de gás) 150 C -10 a 60 C 50 a 300mm/s -2 a 0mm em cada lado (-4 a 0mm total) mortecimento sinusoidal (amortecimento pneumático) 5/16-24UNF 7/16-20UNF ubrificante para guia linear e interior do tubo do cilindro Peso (kg) Curso standard (mm) Força de retenção do íman Diâmetro (mm) Força de retenção do íman (N) Força teórica Diâmetro (mm) Secção do êmbolo (mm²) Pressão de trabalho (MPa) (N)

5 Cilindro sem haste Série CYV Construção ZX ZR E ZM Secção E-E' E' ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Componentes ista de peças N.º Designação Material Observações 1 2 Íman Entreferro Material magnético Placa de aço laminado lumínio cromado Cromado de zinco Êmbolo Junta do êmbolo nel de guia Eixo orracha de flúor Rolamento especial atão/ Niquelado electrolítico/cromado nel de amortecimento Íman Entreferro externo Espaçador de retenção Mesa linear Placa da guia de inserção Parafuso Phillips de cabeça redonda Placa lateral Placa lateral Parafuso da tampa sextavado nilha de mola nilha Placa Placa Junta de amortecimento /bronze Íman de terras raras ço laminado orracha de flúor / Revestimento de nitreto de tit nio N.º Designação Material Observações Cobertura interna Junta do tubo do cilindro Junta tórica Junta tórica Parafuso de ajuste da tampa sextavado Parafuso da tampa sextavado nilha Parafuso Phillips de cabeça redonda Parafuso da tampa sextavado ase Tubo do cilindro Suporte de colocação do tubo Parafuso da tampa sextavado nilha Parafuso da tampa sextavado nilha Cobertura superior poio da junta de amortecimento Junta tórica Junta tórica Guia linear orracha de flúor orracha de flúor orracha de flúor orracha de flúor orracha de flúor Cromado Nota) Nas colunas de materiais e de observações da lista de peças acima, a primeira descrição refere-se à série e a segunda descrição refere-se à série

6 Série CYV Dimensões Parafuso de ajuste do curso (cobertura interna) W H H HI H H HP 2-Diâm. orifício øt Prof. do orifício TC T 2-P Prof. da rosca PC (desde a superfície do orifício) 4-J Prof. JK T W Parafuso de fixação da cobertura interna Nota) R T Y K P F øe Prof. ED 4-MM Prof. da rosca M 4-øD T 4-Diâm. orifício ø Prof. do orifício C P QW N E Prof. EK Q + Curso Z + Curso G 8 12 W MM M4 7 M6 C M 6 8 E H H9 0 N ED EK 4 6 P 5/16-24UNF 7/16-20UNF F P Nota) Consulte o "Efeito de amortecimento (amortecimento sinusoidal) e ajuste do curso" nas Precauções específicas do produto na página G 10 9 P H PC H Q HI QW H R HP T T J M6 M10 T JK TC K W Y (mm) D Z

7 Série CYV Selecção do modelo 1 Parâmetros do selecção 1 O momento de carga admissível é diferente consoante o método de montagem da carga, o sentido de montagem do cilindro e a velocidade do êmbolo. Para determinar se o cilindro pode ou não ser utilizado, a soma (Σαn) dos factores de carga (αn ) para cada massa e momento não deve ultrapassar "1". Σαn = Massa da carga Massa máx. da carga Massa da carga (m) Massa máx. da carga (m max) m máx 1 5 (kg) Momento estático Momento flector M1 = m x g x ( + ) x 10 3 m + Momento estático (M) Momento estático admissível (M max) m Momento flector transverso M2 = m x g x ( + ) x 10 3 Momento Momento admissível (Momento estático/momento dinâmico) Momento provocado pelo peso da carga mesmo quando o cilindro está parado m M2 Momento torsor M3 = m x g x ( + ) x Momento dinâmico (Me) Momento dinâmico admissível (Me max) 1 M1 M (mm) M M (N m) M ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Componentes M1 m x g M2 m x g Superfície de montagem do eixo da guia M3 m x g M1, 2, 3 : Momento [N m] m: Massa da carga [kg] : Dist. ao centro de gravidade da carga [mm], : Distância ao eixo da guia [mm] g: celeração gravidade [9.8m/s 2 ] Eixo central da guia Eixo central do cilindro Momento dinâmico Momento provocado pela carga equivalente ao impacto no fim do curso We = 5 x 10 3 x m x g x U We: Carga equivalente ao impacto [N] m : Massa da carga [kg] U: Velocidade máx. [mm/s] g: celeração gravitacional [9.8m/s³] Momento flector Me1 = 1/3 We( + ) 10 - ³ Coeficiente de carga média Me1 Momento torsor Me3 = 1/3 We( + ) 10 - ³ Coeficiente de carga média Me (mm) We We Superfície de mont. do eixo da guia Eixo central do cilindro Eixo central da guia

8 Série CYV Selecção do modelo 2 Cálculo de selecção O cálculo de selecção determina os factores de carga (αn) dos elementos abaixo, em que o total (Σαn) não deve exceder "1". Σαn = α1 + α2 + α3 1 Item 1. Massa máx. da carga 2. Momento estático 3. Momento dinâmico Factor de carga αn α1 = m/m max α2 = M/M max α3 = Me/Me max Observações Rever m. m max é a massa máxima da carga. Rever M1, M2, M3. M max é o momento admissível. Rever Me1, Me3. Me max é o momento admissível. Exemplo de cálculo Va m Condições de trabalho Cilindro : Montagem: Montagem horizontal na parede Velocidade máxima: U = 300 [mm/s] Massa da carga: m = 1 [kg] (excluindo a massa da secção do braço) 1 = 50 [mm] 2 = 50 [mm] Massa máx. da carga Item Factor de carga αn Observações 2 m α1 = m/m max = 1/5 = 0.20 Rever m Momento estático Superf cie de mont. do eixo da guia 1 m x g M M2 = m g (1 + ) 10 3 = ( ) 10 3 = 0.96 [N m] α2 = M2/M2 max = 0.96/4 = 0.24 Rever M2. Visto que M1 e M3 não existem, não é necessário efectuar a revisão. 3. Momento dinâmico We We Me3 Me1 W W 2 1 Eixo central da guia Superfície mont. do eixo da guia We = 5 x 10 3 m g U = 5 x = 14.7 [N] Me3 = 1/3 We(2 + ) 10 3 = 1/ ( ) 10 3 = 0.38 [N m] α3a = Me3/Me3 max = 0.38/3 = 0.13 Me1 = 1/3 We (1 + ) 10 3 = 1/ ( ) 10 3 = 0.48 [N m] α3b = Me1/Me1 max = 0.48/3 = 0.16 Rever Me3. Rever Me1. Σαn = α1 + α2 + (α3a + α3b) = ( ) = 0.73 O resultado Σαn = permite o funcionamento

9 Série CYV Selecção do modelo 3 Deflexão da mesa Nota) Parâmetros do selecção 2 Deflexão da mesa devido ao momento M1 da carga Deflexão da mesa devido ao momento M2 da carga Deflexão da mesa devido ao momento M3 da carga (M1) (M2) (M3) Deflexão (mm) F F Eixo central da guia M1 = F x M2 = F x Deflexão (mm) Momento (N m) Momento (N m) Momento (N m) (M1) (M2) (M3) Deflexão (mm) F Eixo central da guia M3 = F x Nota) Deflexão: Deslocação do ponto quando a força actua sobre o ponto F Ponto : Indica um ponto de medida ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Componentes Deflexão (mm) Deflexão (mm) Deflexão (mm) Momento (N m) Momento (N m) Momento (N m) Funcionamento vertical Quando utilizar em funcionamento vertical, deve evitar a queda de cargas devido a rupturas do acoplamento magnético. massa da carga admissível e a pressão máxima de trabalho devem estar de acordo com a tabela abaixo. Massa da carga admissível mv (kg) 1 5 Pressão máx. de trabalho. Pv (MPa) 0.3 Paragens intermédias O efeito de amortecimento (início e paragem uniformes) apenas é aplicado antes do final do curso nas margens do curso indicadas na tabela abaixo. O efeito de amortecimento (início e paragem uniformes) não está disponível numa paragem intermédia ou no retorno de uma paragem intermédia utilizando um batente externo, etc. Quando utilizar uma paragem intermédia tendo em conta a informação indicada acima, tome medidas para evitar a criação de partículas e ajuste a pressão de trabalho para um valor não superior a 0.3MPa. Curso de amortecimento Curso (mm)

10 Série CYV Precauções específicas do produto 1 eia atentamente antes de utilizar. Funcionamento 1. bra a embalagem interna da série limpa de dupla embalagem numa sala ou ambiente limpo. 2. Não instale um cilindro com as mãos. Pode piorar as características de libertação de gás. 3. Efectue a substituição de peças e a desmontagem dentro da câmara depois de libertar o ar comprimido da tubagem para fora da sala limpa. Montagem 1. Tenha cuidado de forma a evitar golpear o tubo do cilindro com outros objectos ou manusear de forma a provocar deformações. O tubo do cilindro e as unidades deslizantes têm uma construção sem contacto. Por esta razão, até a mais pequena deformação ou deslize da posição pode provocar um funcionamento defeituoso e perda de durabilidade e pode também haver o perigo de degradar as características de formação de partículas. 2. Tenha cuidado para não riscar ou criar ranhuras na guia linear ou golpeá-la com outros objectos. 3. Visto que a mesa linear é suportada por rolamentos de precisão, não os sujeite a fortes impactos ou momentos excessivos quando montar as cargas. 4. O cilindro pode ser utilizado aplicando directamente uma carga dentro da margem admissível. No entanto, é necessário um alinhamento cuidadoso quando ligar a uma carga com um mecanismo de guia externo. Visto que a deslocação do alinhamento aumenta à medida que o curso se torna mais longo, considere a possibilidade de instalar um método de ligação que absorva a deslocação e que não interfira em nenhum ponto com o curso. Utilize tendo em conta medidas para evitar a formação de partículas. 5. Utilize o cilindro com as placas fixas dos dois lados. Evite aplicações em que a mesa linear ou apenas uma placa estejam fixas. 6. Não utilize antes de verificar que o equipamento funciona correctamente. Depois de montar ou reparar, ligue a alimentação de ar e a energia eléctrica e então confirme a montagem correcta por meio da função apropriada e os testes de fuga. 7. Manual de instruções Monte e utilize o produto depois de ler o manual cuidadosamente e de compreender o seu conteúdo. Guarde-o num local acessível de forma a poder consultá-lo sempre que necessário. Trabalho 1. pressão máxima de trabalho do cilindro sem haste é 0.3MPa Se a pressão máxima de trabalho de 0.3MPa para o cilindro sem haste for ultrapassada, pode dar-se a ruptura do acoplamento magnético, provocando um perigo de funcionamento defeituoso ou a degradação das características de criação de partículas, etc. Trabalho 2. Quando utilizar o cilindro em funcionamento vertical, tome precauções para evitar quedas devido à separação do acoplamento magnético. Quando se utilizar em funcionamento vertical, actue com precaução visto que existe a possibilidade de queda devido à separação do acoplamento magnético se for aplicada uma carga (pressão) superior ao valor admissível. 3. ssegure-se de que o acoplamento magnético entre o carro externo e o êmbolo interno está correcto. Se o acoplamento magnético estiver fora de posição, empurre o carro externo (ou empurre o êmbolo com pressão de ar) de volta à posição correcta no final do curso. (Quando empurrar o carro externo, não o empurre com as mãos descobertas.) 4. Não aplique lubrificante, visto que este produto não precisa de lubrificação. parte interna do cilindro vem lubrificada de fábrica e a lubrificação com óleo de turbina, etc., não corresponde às características do produto. 5. Nunca volte a aplicar lubrificante. Nunca volte a aplicar lubrificante visto que poderia provocar uma degradação da formação de partículas ou das características de trabalho. 6. Utilize o cilindro em ambientes de gás inerte. Os gases corrosivos podem provocar a corrosão de um cilindro ou a perda de durabilidade. 7. Utilize o cilindro em ambientes de pressão desde pressão atmosférica a 1.3 x 10-4 Pa (S). Se utilizar em ambientes de pressão abaixo destas condições, a lubrificação aplicada na guia evapora-se excessivamente e pode provocar uma contaminação ambiental e uma perda da durabilidade. 8. juste a temperatura de aquecimento para 150 C ou menos. Se utilizar uma temperatura mais elevada, a lubrificação evapora-se excessivamente e pode provocar uma contaminação ambiental e perda da durabilidade. 9. O posicionamento de um cilindro deve ser efectuado com um sensor óptico fora da câmara. Não pode montar um sensor óptico no cilindro. Racor 1. É utilizado um racor com junta tórica para um cilindro sem haste. Utilize um racor que esteja de acordo com as dimensões abaixo, e instale-o para que não haja fugas de ar. P (Rosca da ligação) P (Rosca da ligação) 5/16-24 UNF 7/16-20 UNF 2. plique sopro de ar e limpe os racores e as tubagens completamente com ar limpo para retirar o óleo e impurezas, etc., antes de efectuar a tubagem

11 Série CYV Precauções específicas do produto 2 eia atentamente antes de utilizar. Efeito de amortecimento (sinusoidal) e ajuste do curso juste da velocidade 1. Para o ajuste da velocidade é aconselhável utilizar um regulador de caudal para sala limpa. 2. Instale o regulador de caudal fora da câmara. 3. No caso da montagem vertical, recomenda-se um sistema com um circuito regulado de alimentação instalado no lado inferior. (Isso é eficaz contra os atrasos no início do movimento em sentido ascendente e para conservação do ar.) 1. Está incluída uma função de amortecimento sinusoidal (início e paragem uniformes) nas características standard. Devido à natureza do amortecimento sinusoidal, não é possível efectuar o ajuste do efeito de amortecimento. Não existe ajuste do parafuso de amortecimento como no caso dos mecanismos convencionais de amortecimento. 2. O ajuste do curso é um mecanismo para adaptar a posição final do curso da mesa linear a um batente mecânico noutro equipamento, etc. (Margem de ajuste: total dos dois lados 4 a 0mm) Para garantir a segurança, efectue o ajuste depois de fechar o ar de accionamento, libertando a pressão residual e implementando medidas para evitar a quedas, etc. 1) Desaperte o parafuso de fixação da cobertura interna com uma chave de fendas, etc. 2) Para corresponder a posição com um batente mecânico noutro equipamento, etc., rode o parafuso de ajuste do curso (cobertura interna) para a esquerda ou para a direita com uma chave de fendas para mover a cobertura interna para trás e para a frente. 3) O ajuste máximo num lado é de 2 a 0mm. É possível um ajuste total de aproximadamente 4 a 0mm utilizando os dois lados. 4) Depois de completar o ajuste do curso, aperte o parafuso de fixação da cobertura interna com uma chave de fendas, etc. inários de aperto do parafuso de fixação da cobertura interna [N m] Tamanho do parafuso inário de aperto M3 x M6 x Placa Manutenção 1. Nunca desmonte o tubo do cilindro ou a guia linear, etc. Se os desmontar, a mesa linear pode tocar a superfície externa do tubo do cilindro provocando a degradação das características de formação de partículas. 2. Consulte a SMC quando substituir juntas e rolamentos (anéis de guia). 3. Para reparar um cilindro que tenha sido inadvertidamente exposto a gás corrosivo, consulte a SMC depois de esclarecer o nome do gás corrosivo. Características da formação de partículas 1. Para se garantir o grau de formação de partículas, não ultrapasse o 1 milhão de ciclos ou uma distância de percurso de cerca de 200km como orientação. (Tabela 1 abaixo) Se o funcionamento for continuado para além dos valores recomendados, pode dar-se uma falha na lubrificação da guia linear e uma degradação das características da formação de partículas. Tabela 1 Total de ciclos (10,000) Curso (mm) ZX ZR ZM ZY ZH ZU Z ZF ZP ZCU CYV Componentes Parafuso de ajuste do curso (cobertura interna) Chave sextavada Sentido Parafuso de fixação da cobertura interna Sentido

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