4.1 Caracterização química
|
|
- Silvana Galvão Melgaço
- 6 Há anos
- Visualizações:
Transcrição
1 Capítulo 4 Caracterização dos revestimentos decorativos de TiN x O y Nos revestimentos decorativos a cor e o brilho são das propriedades mais importantes [1]. Estas propriedades são normalmente influenciadas pela microestrutura dos revestimentos [2], que por sua vez é fortemente dependente dos parâmetros de deposição, nomeadamente do fluxo de gás reactivo, do bombardeamento iónico, etc. Neste capítulo apresenta-se o estudo detalhado das propriedades dos revestimentos de TiN x O Y depositados com um porta substratos de rotação simples. Este estudo é ilustrado em 4 sub-capítulos, sendo o primeiro dedicado à caracterização química, onde se apresentam e se discutem os resultados experimentais relativos às medidas de composição determinada por RBS. O segundo sub-capítulo diz respeito à caracterização morfológica, apresentando-se os resultados experimentais relativos à análise superficial das amostras por AFM. O terceiro subcapítulo é dedicado à caracterização estrutural, onde se apresentam e se discutem os resultados obtidos por XRD e TEM. Por último, no quarto sub-capítulo são apresentados os resultados relativo à caracterização da cor dos revestimentos, discutindo-se a relação desta propriedade com as restantes propriedades estruturais. 93
2 4.1 Caracterização química Para a determinação da composição química das diferentes amostras foi utilizada a técnica de RBS. Os espectros experimentais obtidos foram analisados pelo programa RUMP [3], e admitiu-se como erro máximo dos valores de composição cerca de 3% at.. Na tabela 4.1 encontra-se sumariada a composição química elementar dos revestimentos, bem como a espessura e a taxa de deposição de algumas amostras obtidas nas análises realizadas em TEM. Nesta tabela constam também os valores do fluxo de N 2 +O 2, a polarização aplicada ao porta substratos e o valor do campo magnético na posição do porta substratos. Tabela 4.1 Composição química elementar, espessura e taxa de deposição dos revestimentos de TiN X O Y. A espessura dos revestimentos foi obtida através das analises de TEM. Fluxo de Polarização Campo Composição química Espessura Taxa de Amostra N 2 +O 2 [cm 3 /min] substrato [V] magnético [mt] [%at] Ti O N [nm] deposição [nm/min] NO1 3,5-70 3, NO , NO , NO , NO , NO , NO , NO , NO , No que diz respeito aos resultados obtidos para a espessura e taxa de deposição dos revestimentos, verifica-se que a amostra preparada sem tensão de polarização apresenta uma taxa de deposição relativamente superior quando comparada com as restantes amostras. A razão para este comportamento poderá dever-se ao facto do aumento do bombardeamento iónico provocar o arranque das 94
3 espécies depositadas, ou seja, repulverização do filme em crescimento, diminuindo deste modo a taxa de deposição. Um outro aspecto, também ele importante, prendese com o facto do aumento do bombardeamento iónico induzir uma maior compactação do revestimento em crescimento podendo deste modo conduzir a uma diminuição da espessura do revestimento. Na figura 4.1 está representada graficamente a variação da composição em %at. para os elementos oxigénio e azoto em função do fluxo de N 2 +O 2 e do bombardeamento iónico. %at de Si Oxigénio Azoto Fluxo de N 2 +O 2 = 10 cm 3 /min Campo magnético = 3,3 mt Tensão de polarização [V] Composição em %at Oxigénio Azoto Fluxo de N 2 +O 2 = 10 cm 3 /min Tensão polarização = -70 V Campo magnético no porta substratos [mt] a) b) Composição em %at Oxigénio Azoto 10 Campo magnético = 3,3 mt Tensão polarização = -70 V Fluxo de N 2 +O 2 [cm 3 /min] c) Figura 4.1 Variação da % at. de Azoto e Oxigénio em função de: a) tensão de polarização aplicada ao porta substratos, b) valor do campo magnético na posição do porta substratos (bombardeamento iónico), c) do fluxo de N 2 +O 2. De um modo geral, verifica-se que ocorre uma alteração na percentagem de oxigénio, bem como na de azoto, com a variação do fluxo da mistura gasosa (figura 4.1c)). Inicialmente para os valores mais baixos do fluxo da mistura gasosa a percentagem de oxigénio mantém-se praticamente constante aumentando abruptamente para elevados fluxos de N 2 +O 2. A explicação para este comportamento poderá estar relacionado com o envenenamento do alvo por parte do oxigénio. A ligeira diminuição do teor de titânio poderá ser um indício deste envenenamento, uma vez que quando ocorre este efeito aumenta a dificuldade de arranque dos átomos do 95
4 alvo. A diminuição da percentagem de azoto quando a percentagem de oxigénio aumenta, poderá ser uma consequência da menor reactividade deste elemento quando comparada com a do oxigénio. Relativamente à variação da composição com o bombardeamento verifica-se que há um ligeiro aumento da percentagem de oxigénio com o aumento do bombardeamento, principalmente quando este é induzido pela variação do campo magnético na posição do porta substratos (figura 4.1b)). Este aumento na percentagem de oxigénio com o aumento do bombardeamento poderá estar relacionado com o processo de repulverização do filme em crescimento. Alguns autores [4-6] indicam que, quando um material multicomponente é bombardeado por partículas energéticas, o elemento mais leve é preferencialmente repulverizado, que neste caso é o azoto. É de referir que uma das amostras apresenta um desvio ao comportamento acima mencionado: amostra preparada com uma tensão de polarização de -70 V (figura 4.1a)). Uma das explicações possíveis para este facto, poderá estar relacionada com as condições experimentais não terem sido exactamente as mesmas, já que as amostras não foram preparadas pela ordem constante na tabela 4.1. E uma vez que se está a trabalhar com gases com elevada reactividade com o elemento do alvo, bem como, com elevados fluxos da mistura gasosa, existe uma elevada possibilidade para a ocorrência de envenenamento do alvo, que poderá de certo modo mascarar os resultados. As amostras preparadas com uma tensão de polarização de 0 e -40 V apresentam a mesma composição. Estes resultados poderão estar relacionados com o facto do potencial flutuante do equipamento de deposição utilizado ser relativamente elevado, como mencionado no capítulo Caracterização morfológica Com o intuito de caracterizar morfologicamente os revestimentos realizaram-se análises por SEM. No entanto, devido à reduzida espessura dos revestimentos não foi 96
5 possível obter imagens de grande qualidade que permitissem um estudo detalhado da morfologia, bem como a sua classificação em função dos parâmetros de deposição. A caracterização morfológica destes revestimentos foi, deste modo, realizada apenas por análises de AFM, a qual permite o estudo da rugosidade superficial dos revestimentos que por sua vez será uma consequência da microestrutura desenvolvida em cada revestimento. Para classificar quantitativamente a rugosidade superficial foram calculados valores da rugosidade rms (desvio padrão da rugosidade) e a rugosidade média, r a [7]. Os valores obtidos nos revestimentos depositados sobre substratos de aço rápido estão apresentados na tabela 4.2. Nesta tabela é também apresentado o valor do fluxo da mistura gasosa utilizada na preparação dos revestimentos, a polarização aplicada ao porta substratos e o valor do campo magnético na posição do porta substratos. Tabela 4.2 Valores do desvio padrão da rugosidade (rms) e rugosidade média (r a ) obtida por AFM dos revestimentos de TiN X O Y depositados sobre substratos de aço rápido. Fluxo de Polarização Campo rms r a Amostra N 2 +O 2 [cm 3 /min] substrato [V] magnético [mt] [nm] [nm] NO1 3,5-70 3,3 5,0 3,5 NO ,3 5,5 4,3 NO , NO , De um modo geral, verifica-se que não ocorrem variações muito significativas dos valores da rugosidade superficial dos revestimentos com as condições de deposição estudadas. No entanto os menores valores de rugosidade foram obtidos na amostra preparada com reduzido fluxo da mistura gasosa utilizada na sua preparação. Como se poderá verificar no sub-capítulo referente a caracterização estrutural esta amostra apresenta uma maior cristalinidade, a qual poderá ter contribuído para uma menor rugosidade. Com o aumento do fluxo da mistura gasosa tende-se a obter um aumento do número de defeitos e consequentemente a tendência para a formação de estruturas amorfas. Assim sendo as diferentes estruturas desenvolvidas poderão ser uma causa directa da variação da rugosidade superficial dos revestimentos. Obtendose rugosidades superficiais mais elevadas nas estruturas mais desorganizadas. 97
6 Na figura 4.2 estão ilustradas duas imagens de AFM correspondentes às amostras produzidas com variação do fluxo da mistura gasosa utilizada na preparação dos revestimentos (amostra NO1 e NO4). a) b) Figura 4.2 Imagens de AFM das amostras preparadas com variação do fluxo da mistura gasosa utilizada na preparação dos revestimentos. A figura a) corresponde à amostra preparada com um fluxo de 3,5 cm 3 /min (NO1) e a figura b) à amostra preparada com 20 cm 3 /min (NO4). A análise destas figuras permite verificar que ocorre um aumento do perfil rugoso da superfície com o aumento do fluxo da mistura gasosa. Não obstante na figura a) são visíveis pequenos sulcos provenientes do polimento na preparação do substrato, que poderão ter contribuído para o aumento da rugosidade superficial desta amostra. 98
7 Uma vez que a aplicação destes revestimentos se destina a fins decorativos a rugosidade é um parâmetro fundamental dado que têm influência directa no brilho das amostras. Assim sendo, a reduzida rugosidade evidenciada por estas amostras induzem uma aparente possibilidade para a aplicação destes revestimentos. 4.3 Caracterização estrutural Análise por difracção de raios-x Os padrões de difracção de raios-x no modo θ/2θ obtidos para as amostras de TiN x O y depositadas com variação do fluxo de N 2 +O 2 estão ilustrados na figura 4.3. Estas amostras foram depositadas sobre substratos de aço rápido e preparadas com uma tensão de polarização de -70 V e um valor do campo magnético na posição do porta substratos de 3,3 mt, ou seja, sem corrente aplicada às bobines. Os padrões da figura a) à figura d) correspondem a amostras preparadas com um aumento do fluxo de N 2 +O 2. Nesta figura está também assinalado o pico correspondente à difracção segundo a direcção [100] da estrutura hexagonal da camada de adesão de titânio, bem como algumas reflexões correspondentes ao material do substrato. Estes resultados revelam a existência de uma dependência da estrutura cristalina dos revestimentos com o fluxo de N 2 +O 2 utilizado na sua preparação. Para a amostra preparada com reduzido fluxo de N 2 +O 2, é identificada uma estrutura cristalina que é basicamente constituída por grãos de TiN segundo a direcção [111]. Este pico encontra-se um pouco desviado para valores de θ inferiores aos valores constantes na tabela ICDD (36,663º) [8], este desvio poderá ser justificado atendendo ao efeito das tensões residuais na posição angular dos picos de difracção. As tensões residuais de compressão provocam uma expansão da célula unitária na direcção normal ao substrato, o qual implica um aumento do parâmetro de rede (que poderá ir até ~1%) [9]. 99
8 NO4 Fluxo de N 2 +O 2 = 20cm 3 /min aço d) aço Ti(100) aço TiN (111) TiNO - fase 2 TiO 2 (anatase) NO3 c) intensidade (u. a.) Fluxo de N 2 +O 2 = 10cm 3 /min NO2 Fluxo de N 2 +O 2 = 7cm 3 /min b) NO1 Fluxo de N 2 +O 2 = 3.5cm 3 /min Ângulo 2θ (º) a) Figura 4.3 Padrões de difracção de raios-x para as amostras de TiN x O y, com variação do fluxo de N 2 +O 2 utilizado na preparação dos revestimentos. No entanto, devido à elevada largura do pico e atendendo aos trabalhos já publicados na literatura [10-12] poderá também ser considerada a presença de outras estruturas cristalinas. Segundo N. Martin et. al. [10,11] nos revestimentos de TiN x O y depositados por pulverização catódica existe a possibilidade de formação de uma fase de TiO y cuja estrutura cristalina e parâmetro de rede são semelhantes à estrutura fcc do TiN (a TiN = 0,424 nm, a TiO = 0,419 nm). Nos trabalhos de Y. Makino et al. [12] estes sugerem que nos revestimentos de TiN x O y poderá ocorrer uma estrutura identificada como sendo nitreto de titânio contendo átomos de oxigénio, aparecendo o pico de difracção segundo a direcção [111] para valores de 2θ de aproximadamente 36º. No caso dos estudos realizados por P. Cerqueira [13] é referido que neste tipo de revestimentos existe ainda a possibilidade de formação de uma fase de Ti-O-N, denominada fase 2 onde alguns átomos de oxigénio ocupam as posições dos átomos 100
9 de azoto na rede fcc do TiN, aparecendo neste caso o pico de difracção segundo a direcção [111] a 2θ 37º. Nos revestimentos em estudo neste trabalho a ocorrência do pico de difracção referente a esta fase é de difícil identificação, uma vez que se situa nas posições angulares correspondentes às reflexões do substrato. Não será, no entanto, de desprezar a presença desta fase, principalmente no revestimento com reduzida concentração de oxigénio, uma vez que se verifica que a intensidade deste pico se encontra relativamente fortificada quando comparada com os restantes difractogramas. Com o aumento do fluxo de N 2 +O 2 é visível uma rápida diminuição da intensidade do pico a 2θ 36º, o qual foi indexado como sendo provavelmente uma mistura de fases de TiN, Ti-N-O e TiO x, o qual acaba praticamente por desaparecer. No entanto, é visível a formação de uma outra estrutura que pela posição do pico de difracção (2θ 38º) e comparando com os valores constantes nas tabelas ICDD (2θ = 38,576º) [8] poderá corresponder à difracção segundo o plano (112) da estrutura correspondente ao TiO 2 (anatase). Contudo, a estrutura correspondente ao TiO 2 (anatase) prevê um pico de difracção segundo o plano (004) na região correspondente a 2θ = 37,801º que poderá também estar presente, uma vez que este pico apresenta uma largura bastante elevada. Desta forma, não será possível indexar um pico de difracção a uma determinada fase, mas sim, a uma mistura de fases, em que a sua identificação não é óbvia. Um outro aspecto, que se torna evidente pela análise dos difractogramas é a reduzida cristalinidade dos revestimentos, e que esta diminui com o aumento do fluxo de N 2 +O 2. Esta reduzida cristalinidade é identificada pela elevada largura dos picos de difracção, bem como, pela sua reduzida intensidade. O aumento do fluxo de N 2 +O 2 provoca um aumento na quantidade de gás disponível que irá resultar numa crescente saturação na superfície do filme em crescimento, reduzindo deste modo a possibilidade de formação de estruturas cristalinas. Por outro lado, a extensa deformação da estrutura do nitreto de titânio, resultante da incorporação de oxigénio aumenta o número de defeitos e consequentemente reduz a cristalinidade do revestimento. Na figura 4.4 ilustra-se a variação da textura em amostras preparadas com variação do bombardeamento iónico, induzido quer pela variação da polarização aplicada ao substrato (figura 4.4 a)), quer pela variação do campo magnético na posição do porta substratos (figura 4.4 b)). Estas amostras foram depositadas sobre 101
10 substratos de aço rápido e preparadas com um fluxo da mistura reactiva de N 2 +O 2 de 10 cm 3 /min. Nesta figura está também assinalado o pico correspondente à difracção segundo a direcção [100] da estrutura hexagonal da camada de adesão de titânio, bem como algumas reflexões correspondentes ao material do substrato. aço Ti(100) aço NO7 V B = -100 V TiN (111) TiNO - fase 2 TiO 2 (anatase) aço aço NO9 Campo magnético = 9.5mT Ti(100) aço TiN (111) TiNO - fase 2 TiO 2 (anatase) aço intensidade (u. a.) NO3 V B = -70 V NO6 V B = -40 V intensidade (u. a.) NO8 Campo magnético = 7.1mT NO3 NO5 Campo magnético = 3.3mT V B = 0 V Ângulo 2θ (º) a) Ângulo 2θ (º) b) Figura 4.4 Padrões de difracção de raios-x para as amostras de TiN x O y, com variação do bombardeamento iónico induzido por a) polarização aplicada ao substrato, b) campo magnético na posição do porta substratos. Os resultados ilustrados nesta figura revelam a formação das mesmas estruturas identificadas nos difractogramas de amostras produzidas com variação do fluxo de gás reactivo (figura 4.3). No entanto, o aumento do bombardeamento iónico induzido quer pelo aumento da polarização aplicada ao substrato quer pelo aumento do campo magnético na posição do porta substratos, provoca um aumento da cristalinidade dos revestimentos, uma vez que é visível um pequeno aumento na intensidade dos picos de difracção das diferentes estruturas. Este aumento da cristalinidade resulta do aumento dos pontos de nucleação, bem como, do aumento da mobilidade das espécies que atingem o substrato/filme em crescimento que é 102
11 incrementada pelo aumento do bombardeamento iónico. Neste caso, as espécies que atingem o substrato/filme em crescimento já possuem energia para se deslocarem para posições de menor energia, que são as posições das estruturas cristalinas. Um outro aspecto que se torna evidente é que o aumento do bombardeamento iónico fomenta a formação da estrutura cristalina indexada ao pico de difracção a 2θ 36º. Este facto poderá dever-se principalmente ao facto do bombardeamento iónico induzir um aumento da mobilidade das espécies que atingem o substrato/filme em crescimento, bem como, a fenómenos de repulverização Análise por Microscopia Electrónica de Transmissão Na figura 4.5 está ilustrada uma imagem de TEM em secção de corte da amostra NO5, a qual foi preparada com reduzido bombardeamento (sem polarização aplicada ao porta substrato e sem corrente aplicada às bobines). Representa-se ainda nesta figura o padrão de difracção retirado na referida secção de corte e uma difracção em campo escuro. Pela análise destas figuras conclui-se que a camada de adesão de Ti é bastante cristalina e que apresenta diâmetros de colunas de grãos bastante elevados. Contrariamente o revestimento de TiN X O Y é muito pouco cristalino e as colunas de grãos têm diâmetros muito reduzidos, atingindo no máximo aproximadamente 40 nm. Esta estrutura foi também evidenciada pelas análises de raios-x onde se verificaram picos de difracção de reduzida intensidade e de largura elevada, indiciando a pouca cristalinidade dos revestimentos. Relativamente ao padrão de difracção como este foi retirado em toda a secção de corte são também visíveis anéis referentes às principais reflexões da camada de adesão de Ti, que pela análise de difracção de raios-x se verificou que têm uma estrutura hexagonal. Este facto torna difícil a interpretação deste difractograma. A simulação dos anéis de difracção representada no padrão de difracção diz respeito à estrutura hexagonal do Ti com parâmetros de rede próximos dos tabelados [8], e à estrutura do tipo fcc do TiN admitindo o parâmetro de rede semelhante ao obtido por difracção de raios-x. Esta simulação confirma que os anéis observados dizem respeito a estas duas estruturas. No entanto, atendendo aos resultados obtidos por difracção de raios-x esta estrutura poderá não corresponder simplesmente à fase TiN, mas sim a diferentes fases com a mesma estrutura e parâmetros de rede semelhantes. 103
12 100 nm TiN Ti 100 nm Figura 4.5 Imagem de TEM da secção de corte de uma amostra preparada sem polarização aplicada ao porta substratos (NO5), e respectivo difractograma electrónico e difracção em campo escuro. Relativamente à fase TiO 2 (anatase) detectada por raios-x, em TEM não foram detectados anéis de difracção referentes a esta fase. Tal poderá estar relacionado com o facto de em TEM se analisarem as amostras na secção perpendicular à superfície, enquanto que na difracção de raios-x só são detectados os planos paralelos à superfície. De referir ainda, o facto de em TEM se analisar apenas uma 104
13 pequeníssima área do revestimento (tipicamente da ordem das poucas centenas de nanometros), quando comparada com a analisada por difracção de raios-x (cerca de 1 cm 2 ). O facto de se verificarem pontos nos anéis de difracção da estrutura da camada de adesão indicia a presença de grão de dimensões não muito reduzidas (> 10 nm), o que de facto é observado pelas imagens em campo escuro e em campo claro. No que diz respeito ao revestimento é apresentada na figura 4.6 um padrão de difracção retirado apenas nesta camada. A obtenção de anéis contínuos indicam que de facto os grãos apresentam dimensões reduzidas, como já havia sido referenciado anteriormente <111> <200> <220> <311> <222> Figura 4.6 Padrão de difracção da amostra NO5. A simulação dos anéis de difracção representada no padrão de difracção foi obtida admitindo uma estrutura do tipo fcc do TiN resultando em parâmetros de rede semelhantes aos obtidos por difracção de raios-x. Ainda no que concerne a esta amostra encontra-se na figura 4.7 uma imagem em alta resolução. A análise desta figura confirma novamente a reduzida cristalinidade desta amostra, bem como a reduzida dimensão dos grãos. Atendendo aos resultados de difracção de raios-x com o aumento do bombardeamento será de esperar um aumento da cristalinidade do revestimento, que de facto se confirma em TEM, como se pode verificar pela figura 4.8. Nesta figura está apresentada uma imagem da secção de corte da amostra NO3 a qual foi preparada com uma tensão de polarização aplicada ao porta substratos de -70V e um campo magnético na posição do porta substratos de 3.3 mt. Tal como já foi referenciado para a amostra anterior a análise do padrão de difracção é relativamente difícil de efectuar devido à sobreposição dos anéis referentes à difracção das duas diferentes estruturas correspondentes à camada de adesão e ao revestimento. No entanto, quando comparado com o padrão de difracção da amostra 105
14 anterior, verifica-se que já não são visíveis anéis contínuos o que indicia que além da cristalinidade dos revestimentos aumentar com o bombardeamento o tamanho de grão também aumentou. 5 nm Figura 4.7 Imagem de HRTEM da secção de corte de da amostra NO5. 106
15 100 nm 100 nm Figura 4.8 Imagem de TEM da secção de corte de uma amostra preparada com uma polarização aplicada ao porta substratos de -70 V (NO3), e respectivo difractograma electrónico e difracção em campo escuro para a direcção de crescimento. Na figura 4.9 está apresentada uma imagem em alta resolução desta amostra, onde é possível visualizar que comparativamente com a figura 4.7, o tamanho de grão, assim como a cristalinidade desta amostra é superior. O aumento da cristalinidade com o aumento do bombardeamento iónico, deve-se ao facto do bombardeamento iónico aumentar os pontos de nucleação bem como a mobilidade das espécies que atingem o substrato/filme em crescimento, permitindo deste modo que estas se desloquem para posições de menor energia que são as posições das estruturas cristalinas. Este aumento da cristalinidade poderá ter afectado deste modo o aumento do tamanho de grão, uma vez que a presença de uma estrutura desorganizada, ou 107
16 seja, amorfa impede provavelmente o crescimento dos pequenos núcleos de grãos que se formam. 5 nm Figura 4.9 Imagem de HRTEM da secção de corte de da amostra NO3. Na figura 4.10 está apresentada uma imagem de TEM em secção de corte da amostra NO9, a qual foi preparada com uma polarização aplicada ao porta substratos de -70V e um campo magnético na posição do porta substratos de 9.5 mt, ou seja com um elevado bombardeamento iónico. É apresentado também o padrão de difracção retirado na zona do revestimento (figura 4.11). Novamente pela análise destas imagens é visível um aumento quer do tamanho de grão quer da cristalinidade do revestimento com o aumento do bombardeamento. Pela análise deste difractograma verifica-se que as dimensões dos cristais não são muito reduzidas, uma vez que são visíveis arcos nos anéis de difracção. Verificase também que ocorre um predomínio para o crescimento numa dada direcção, dado que é visível uma assimetria na intensidade luminosa nos anéis de difracção. Pela análise efectuada por difracção de raios-x obteve-se apenas um pico de difracção segundo a direcção [111], no entanto, no caso das análises por TEM pelo padrão de difracção são visíveis anéis de difracção para várias direcções de crescimento. E 108
17 atendendo à intensidade luminosa dos anéis, a direcção [100] poderá ser identificada como a direcção preferencial de crescimento. Esta diferença de resultados poderá dever-se, tal como já foi referenciado para os revestimentos de (Ti,Si,Al)N (capítulo 3), ao facto de em TEM se analisarem as amostras na secção perpendicular à superfície, enquanto que na difracção de raios-x só são detectados os planos paralelos à superfície. Refira-se ainda que em TEM se analisa apenas uma pequeníssima área do revestimento, quando comparada com a analisada por difracção de raios-x. 100 nm Figura 4.10 Imagem de TEM da secção de corte de uma amostra preparada com uma polarização aplicada ao porta substratos de -70 V e uma corrente aplicada às bobines de 5 A (NO9) <111> <200> <220> <311> <222> <400> <331> <420> <422> Figura 4.11 Padrão de difracção da amostra NO9. A simulação dos anéis de difracção representada no padrão de difracção foi obtida admitindo uma estrutura do tipo fcc do TiN resultando em parâmetros de rede semelhantes aos obtidos por difracção de raios-x. 109
18 Uma vez, que a espessura dos revestimentos é relativamente reduzida, inferior a 1µm, foi possível determinar a espessura dos revestimentos analisados, e consequentemente os valores da taxa de deposição. A análise dos valores obtidos já foi analisada anteriormente no sub-capítulo 4.1 referente à caracterização química. 4.4 Caracterização da cor Os resultados obtidos nas medidas de cor especular média representada no espaço cor CIELAB 1976, dos revestimentos de TiN X O Y depositados sobre substratos de aço rápido estão apresentados na tabela 4.3. O erro na medição da cor de cada amostra é apresentado como metade do desvio padrão relativamente à média, numa área analisada de 3,7*3,7 mm. Para melhor visualização dos resultados, na figura 4.12 e 4.13 estão apresentados graficamente os parâmetros L*, a* e b*, bem como a cor especular média para cada amostra em função da variação do fluxo da mistura gasosa e da variação do bombardeamento iónico, respectivamente. Tabela 4.3 Coordenadas no espaço de cor CIE 1976 L*a*b* dos revestimentos de TiN X O Y depositados sobre substratos de aço rápido. Fluxo de Polarização Campo Amostra N 2 +O 2 [cm 3 /min] substrato [V] magnético [mt] L* a* b* NO1 3,5-70 3,3 73,5±1,3 4,3±1,2 33,7±1,1 NO ,3 54,2±1,4 10,9±1,1 12,7±1,4 NO ,3 47,6±1,3 6,2±1,2 0,5±0,7 NO ,3 52,4±1,3 5,9±0,9-5,8±0,8 NO ,3 47,8±1,1 4,6±1,0-7,0±1,0 NO ,3 48,0±1,2 0,8±1,3-6,5±1,1 NO ,3 51,4±1,3 11,8±1,2 8,4±0,9 NO ,1 47,8±1,3 7,7±0,7-3,1±0,8 NO ,5 49,1±1,0 12,3±0,8 4,4±0,7 110
19 L* Capítulo 4 Caracterização dos revestimentos decorativos de TiN x O y 80 Φ N2+O2 =3,5 cm 3 /min Φ N2+O2 =20 cm 3 /min Φ N2+O2 =10 cm 3 /min Φ N2+O2 =7 cm 3 /min a* b* Figura 4.12 Representação gráfica da cor especular média no espaço de cor CIELAB 1976 sob o iluminante standard CIE D65 para as amostras de TiN X O Y preparadas com variação do fluxo da mistura gasosa. Os símbolos abertos correspondem a projecção no plano a*b*. Da análise da figura 4.12 verifica-se que a amostra preparada com reduzido fluxo de mistura gasosa apresenta uma cor amarelo dourado similar à cor típica dos revestimentos de TiN estequiométricos. Atendendo aos resultados obtidos nas análises de difracção de raios-x esta semelhança já seria de prever uma vez que esta 111
20 amostra é a que apresenta uma estrutura mais similar à do TiN.Com o aumento do fluxo da mistura gasosa verifica-se que a cor das amostras passa gradualmente para um amarelo-castanho escuro, e que para o fluxo da mistura gasosa mais elevado a amostra apresenta uma cor azul. Observando os resultados obtidos nas análises de difracção de raios-x, e comparando com estes resultados verifica-se que a variação da cor poderá ser influenciada principalmente pelo desenvolvimento das diferentes estruturas. Com o aumento do desenvolvimento de estruturas de TiO X, a cor das amostras varia desde a cor acastanhada até ao azul. Sendo que para a amostra que apresenta uma estrutura mais similar ao TiN a cor observada é o amarelo dourado. Um outro parâmetro que poderia ser importante na variação da cor das amostras é a composição química dos revestimentos, no entanto verifica-se que para baixos fluxos da mistura gasosa a composição das amostras é muito semelhante, sendo a cor muito diferente. Assim, neste estudo a composição não é o principal factor responsável pela variação da cor das amostras. No que toca ao brilho das amostras (parâmetro L*) verifica-se que a amostra produzida com reduzido fluxo da mistura gasosa apresenta um brilho relativamente superior quando comparado com as restantes amostras. Atendendo aos resultados obtidos na caracterização morfológica verifica-se que esta amostra apresenta valores de rugosidade ligeiramente inferiores às restantes amostras. Estes resultados indiciam que a rugosidade, influenciada principalmente pela microestrutura desenvolvida, poderá ser o factor primordial na variação do brilho das amostras. Relativamente à variação da cor com o bombardeamento iónico (figura 4.13) verifica-se que para reduzidos bombardeamentos iónicos (sem tensão de polarização aplicada ao porta substratos e com reduzido valor do campo magnético na posição do porta substratos) a amostra apresenta uma cor azul. No entanto com o aumento do bombardeamento iónico a cor das amostras passa gradualmente para uma cor amarelo-castanho escuro. Estes resultados tal como no caso da variação com o fluxo da mistura gasosa são consistentes com a variação das estruturas desenvolvidas. Obtendo-se cores mais escuras (azul) para as amostras que apresentam estruturas TiO X. Apesar de não ser tão notório como no caso das amostras preparadas com variação do fluxo da mistura gasosa, verifica-se que as amostras produzidas com maior bombardeamento iónico apresentam um brilho relativamente superior. O aumento do bombardeamento iónico promovido quer pelo aumento da tensão aplicada 112
21 ao porta substratos, quer pelo aumento do valor do campo magnético na posição do porta substratos, induz um aumento na mobilidade das espécies que atingem o substrato/filme em crescimento, que se traduz numa diminuição da rugosidade superficial. 55 V B = -100V B Z =3.3mT 50 V B = -40V B Z =3.3mT V B = 0V B Z =3.3mT V B = -70V B Z =7.1mT V B = -70V B Z =9,5mT L* V B = -70V B Z =3.3mT a* b* 5 10 Figura 4.13 Representação gráfica da cor especular média no espaço de cor CIELAB 1976 sob o iluminante standard CIE D65 para as amostras de TiN X O Y preparadas com variação do bombardeamento iónico. Os símbolos abertos correspondem a projecção no plano a*b*. Quando analisada através das imagens obtidas por AFM não se observaram variações significativas nos valores da rugosidade com a variação do 113
22 bombardeamento iónico provavelmente devido ao facto da reduzida área analisada (5 µm) quando comparada com a área analisada na medição da cor (3,7 mm). Atendendo aos resultados obtidos é de realçar que a variação da cor dos revestimentos se deve essencialmente à microestrutura desenvolvida pelos revestimentos, a qual é influenciada principalmente pelas condições de deposição nomeadamente pelo bombardeamento iónico e pelo fluxo da mistura gasosa utilizada na preparação dos revestimentos. Referências [1] U. Beck, G. Reiners, U. Kopacz and H. A. Jehn, Surf. Coat. Techno., 60 (1993) 389. [2] Pedro P. C. Cerqueira, Preparação e Caracterização de filme finos coloridos de TiN x O y, Tese de Mestrado, Universidade do Minho, [3] L. R. Doolittle, Nucl. Inst. and Meth., B9 (1985), 334. [4] Cristina M. G. S. Louro, Comportamento do sistema W-Si-N função do teor de Silício., Tese de Doutoramento, Universidade de Coimbra, [5] M. Diserens, J. Patscheider, F. Lévy, Surf. Coat. Techonol (1998) 241. [6] Siegfried hofmann, Thin Solid Films, (1999) 335. [7] Jean M. Bennett, Lars Mattson, in : Surface Roughness and Scattering, Optical Society of American, Washington, D. C., [8] Joint Committee on Powder Diffraction Standards, Powder Diffraction File of the International Center for Diffraction Data, PDF-ICDD cards. [9] R. C. Cammarata, R. K. Eby, J. Mater. Res 5 (1991) 888. [10] N. Martin, O. Banakh, A. M. E. Santo, S. Springer, R. Sanjinés, J. Takadoum, F. Lévy, Applied Surface Science 185 (2001) 123. [11] N. Martin, R. Sanjinés, J. Takadoum, F. Lévy, Surf. Coat. Technol. 142 (2001) 615. [12] Y. Makino, M. Nose, T. Tanaka, M. Misawa, A. Tanimoto, T. Nakai, K. Kato, K. Nogi, Surf. Coat. Techonol. 98 (1998) 934. [13] P. Cerqueira, F. Vaz, L. Rebouta, S. M. C. Nascimento, E. Alves, Ph. Goudeau, J. P. Riviére, in print. 114
3.1 Caracterização química
Capítulo 3 Caracterização dos revestimentos duros/protectores de (Ti,Si,Al)N Para a compreensão das propriedades físicas, bem como a resposta mecânica dos materiais, e em particular daqueles respeitantes
Leia maisCapítulo 3 Imagem de Superfície e de Secção de Corte: TEM
Figura 3.3.14 Micrografia de HRTEM da secção de corte de uma amostra em multicamadas de Ti 0,4 Al 0,6 N/Mo crescida com Λ=6,0 nm e uma tensão de polarização de 40 V. No interior desta imagem encontra-se
Leia mais5 Crescimento de filmes de Ti-B-N
5 Crescimento de filmes de Ti-B-N 5.1. Introdução O sistema Ti-B-N tem sido estudado há pouco mais de uma década [79-81] devido principalmente a suas boas propriedades mecânicas e tribológicas. Estes compostos
Leia maisCapítulo 3 Imagem de Superfície e de Secção de Corte: TEM
Figura 3.3.24 Micrografia de HRTEM da secção de corte de uma amostra em multicamadas Ti 0,4 Al 0,6 N/Mo crescida com Λ=4,0 nm e uma tensão de polarização de 100 V. No canto superior esquerdo encontra-se
Leia maisCapítulo Revestimentos duros/protectores de. (Ti,Si,Al)N
Capítulo 5 Revestimentos sobre superfícies tridimensionais Um dos objectivos principais deste trabalho é preparar revestimentos sobre peças com superfícies curvas. Assim, este capítulo será dedicado ao
Leia maisCapítulo Condições experimentais
Capítulo 2 Produção dos revestimentos Este capítulo é dedicado à descrição dos aspectos experimentais referentes à preparação dos revestimentos. No primeiro sub-capítulo apresenta-se uma descrição geral
Leia maisCAPÍTULO 3 IMAGEM DE SUPERFÍCIE E DE SECÇÃO DE CORTE
CAPÍTULO 3 IMAGEM DE SUPERFÍCIE E DE SECÇÃO DE CORTE 3.1 MICROSCOPIA DE FORÇA ATÓMICA 3.1.1 Introdução O primeiro microscópio de efeito de túnel a ser construído foi o desenvolvido por Binning e Roher
Leia mais2.2.5 Resultados Experimentais de XRD em Altos Ângulos -60 V -50 V
2.2.5 Resultados Experimentais de XRD em Altos Ângulos Antes de se produzirem as multicamadas houve um trabalho exaustivo relacionado com a obtenção das melhores condições de deposição de filmes monolíticos
Leia mais6 RESULTADOS E DISCUSSÃO
6 RESULTADOS E DISCUSSÃO Nesta seção serão apresentados e discutidos os resultados em relação à influência da temperatura e do tempo espacial sobre as características dos pósproduzidos. Os pós de nitreto
Leia mais1 Introdução O diborato de titânio (TiB 2 )
1 Introdução 1.1. O diborato de titânio (TiB 2 ) O diborato de titânio (TiB 2 ) é um composto cerâmico de estrutura hexagonal onde os átomos de boro formam uma rede ligada covalentemente na matriz do titânio
Leia maisSIMULAÇÃO DA DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS ATRAVÉS DO PROGRAMA SIMTRA. 1
SIMULAÇÃO DA DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS ATRAVÉS DO PROGRAMA SIMTRA. 1 Julio César Sagás 2, Júlia Karnopp 3. Palavras-chave: Filmes. Simulação. SIMTRA. Deposições de filmes de titânio, alumínio, gadolínio
Leia maisTEMPERATURE EFFECTS ON CRYSTALLINE STRUCTURE AND WETTABILITY OF TiOx FILMS DEPOSITED BY TRIODE MAGNETRON SPUTTERING ON GLASS
TEMPERATURE EFFECTS ON CRYSTALLINE STRUCTURE AND WETTABILITY OF TiOx FILMS DEPOSITED BY TRIODE MAGNETRON SPUTTERING ON GLASS Thais Macedo Vieira Julio César Sagás Rodrigo Sávio Pessoa INTRODUÇÃO Aplicações
Leia mais5 A Influência dos dopantes na deformação mecânica do Nitreto de Gálio por nanoindentação
5 A Influência dos dopantes na deformação mecânica do Nitreto de Gálio por nanoindentação Neste capítulo será apresentado o estudo sobre a influência da dopagem nas propriedades mecânicas de filmes de
Leia maisSinopse. 1. Introdução
COTEQ-204 VARIÁVEIS QUE INFLUENCIAM OS RESULTADOS DO ENSAIO DE MATERIAIS FERROMAGNÉTICOS PELA ANÁLISE DO RUÍDO MAGNÉTICO BARKHAUSEN Silvério Ferreira da Silva Júnior 1, Donizete Anderson de Alencar 2,
Leia maisFÍSICA NUCLEAR E PARTÍCULAS
FÍSICA NUCLEAR E PARTÍCULAS DETERMINAÇÃO DA ABUNDÂNCIA NATURAL DO 40 K O potássio natural é fracamente radioactivo, contendo uma parte em 10 4 de 40 K, um isótopo de potássio emissor de electrões. Conhecendo
Leia maisCAPÍTULO 5 - RESULTADOS DA CARACTERIZAÇÃO MECÂNICA DAS MULTICAMADAS DE TiN/ZrN
CAPÍTULO - RESULTADOS DA CARACTERIZAÇÃO MECÂNICA DAS MULTICAMADAS DE TiN/ZrN. - TESTES DE ADESÃO Os testes de aderência foram realizados com o scratch tester do Departamento de Física da Universidade do
Leia mais5 Influência da Tensão de Autopolarização
5 Influência da Tensão de Autopolarização 5.1. Introdução Neste Capítulo são apresentados os resultados obtidos no estudo da influência da tensão de autopolarização na deposição e na estrutura de filmes
Leia maisFigura Fluxograma para produção das cavidades seladas e respectivos testes; A = HMDS ou HFE; Int. = intermixing, HMDS/HFE
59 Figura 4.8 - Fluxograma para produção das cavidades seladas e respectivos testes; A = HMDS ou HFE; Int. = intermixing, HMDS/HFE Foi definido um grupo de 50 condições distintas para serem testadas. Estas
Leia maisMateriais / Materiais I
Materiais / Materiais I Guia para Trabalho Laboratorial MICROGRAFIA 1. Introdução A metalografia microscópica ou micrografia trata do exame e descrição das características da estrutura dos materiais à
Leia maisCAPÍTULO 4 - RESULTADOS DA CARACTERIZAÇÃO ESTRUTURAL DAS MULTICAMADAS DE TiN/ZrN
CAPÍTULO 4 - RESULTADOS DA CARACTERIZAÇÃO ESTRUTURAL DAS MULTICAMADAS DE TiN/ZrN 4.1 - DIFRACÇÃO DE RAIOS-X (XRD) 4.1.1 - Baixos Ângulos Os espectros de difracção por raios-x em regime de baixos ângulos
Leia maisDifracçãoderaios-X XRD, PXRD
8 Difracçãoderaios-X XRD, PXRD http://en.wikipedia.org/wiki/powder_diffraction A difracção de raios-x fornece informação sobre características estruturais de materiais Idealmente, numa amostra em pó, qualquer
Leia mais3.5. Espectro EDS correspondente à análise dos cristais brancos da Figura
ÍNDICE Resumo... I Abstract... III Índice... V Índice de Figuras... VII Índice de Tabelas... XI Agradecimentos... XIII 1. Introdução... 1 1.1. Azulejaria Portuguesa do Século XVII... 1 1.2. Fontes sobre
Leia mais(1) (2) A equação 2 define um conjunto de equações lineares que pode ser resolvida dentro de condições adequadas para fornecer valores da FDOC [4].
Comparação entre Diferentes Métodos de Cálculo da Função de Distribuição de Orientação Cristalográfica quando Aplicados em Aços Inoxidáveis Duplex Souza Junior,C.M; Abreu, H.F.G; Teodósio, J.R Resumo Vários
Leia mais2.5 TÉCNICA DE EXAFS Introdução
2.5 TÉCNICA DE EXAFS 2.5.1 Introdução De modo a se optimizar as propriedades mecânicas das multicamadas de TiAlN/Mo em estudo é fundamental correlacionar as propriedades físicas e mecânicas e perceber
Leia mais4 Crescimento de filmes de TiB 2
4 Crescimento de filmes de TiB 2 4.1. Introdução Neste capítulo iremos apresentar os resultados da caracterização de filmes de TiB 2 crescidos a partir do uso da técnica de deposição por erosão catódica
Leia maisTecnicas analiticas para Joias
Tecnicas analiticas para Joias Técnicas avançadas de analise A caracterização de gemas e metais da área de gemologia exige a utilização de técnicas analíticas sofisticadas. Estas técnicas devem ser capazes
Leia maisUniversidade Técnica de Lisboa
Universidade Técnica de Lisboa Instituto Superior Técnico Ciência de Materiais Repescagem 1º Teste (28.Junho.2011) Resolução Pergunta Cotação 1. (a) 0,50 1. (b) 0,50 1. (c) 0,50 1. (d) 0,50 1. (e) 1,00
Leia mais6 Autorrecuperação Adicional
6 Autorrecuperação Adicional Nos capítulos anteriores apresentamos um estudo do processo de deformação dos filmes de GaN e sugerimos um mecanismo de deformação para este material. Um dos pontos importantes
Leia mais5 Filmes de Carbono Amorfo Fluorados
5 Filmes de Carbono Amorfo Fluorados 5.1 Introdução Neste capítulo descreve-se os parâmetros de deposição e resultados da deposição dos filmes de a-c:f:h, utilizando como substratos aço inoxidável 316L.
Leia mais8.2. Na extremidade de uma corda suficientemente longa é imposta uma perturbação com frequência f = 5 Hz que provoca uma onda de amplitude
Constantes Velocidade do som no ar: v som = 344 m /s Velocidade da luz no vácuo c = 3 10 8 m/s 8.1. Considere uma corda de comprimento L e densidade linear µ = m/l, onde m é a massa da corda. Partindo
Leia maisCAPÍTULO 7. Os homens nascem ignorantes, mas são necessários anos de. estudo para torná-los estúpidos.
CAPÍTULO 7 Os homens nascem ignorantes, mas são necessários anos de estudo para torná-los estúpidos. George Bernard Shaw (1856 1950), dramaturgo irlandês Experiência é o nome que damos aos nossos próprios
Leia mais5 Efeito da Rugosidade nas Propriedades Supercondutoras
5 Efeito da Rugosidade nas Propriedades Supercondutoras Neste capítulo, discutiremos o efeito de rugosidade da interface entre um supercondutor (SC) e ferromagneto (FM) nas propriedades supercondutoras
Leia maisCapítulo 7 - Solidificação
Capítulo 7 - Solidificação Solidificação - resultado do vazamento de material líquido 2 etapas Nucleação: Formação de núcleos sólidos (agregados ou cachos de átomos) Crescimento: crescimento dos núcleos
Leia maisPREPARO DE FILMES CONTENDO ACETILACETONATO DE ALUMÍNIO. PREPARATION OF FILMS CONTAINING ALUMINIUM ACETYLACETONATE.
PREPARO DE FILMES CONTENDO ACETILACETONATO DE ALUMÍNIO. PREPARATION OF FILMS CONTAINING ALUMINIUM ACETYLACETONATE. Leonardo A. D. Bandeira, Elidiane Cipriano Rangel Campus de Sorocaba Engenharia de Controle
Leia maisEVOLUÇÃO MORFOLÓGICA DE FILMES FINOS DE ZnO CRESCIDOS POR RF MAGNETRONS SPUTTERING
EVOLUÇÃO MORFOLÓGICA DE FILMES FINOS DE ZnO CRESCIDOS POR RF MAGNETRONS SPUTTERING MORPHOLOGICAL EVOLUTION OF ZnO THIN FILMS GROWN BY RF MAGNETRON SPUTTERING Michel Chaves, Andressa M. Rosa, Érica P. da
Leia maisSIMULAÇÃO DOS PROBLEMAS DE CONTATO PARA A OTIMIZAÇÃO DA ESPESSURA DE REVESTIMENTO Luciano de Oliveira Castro Lara; José Daniel Biasoli de Mello.
21º POSMEC Simpósio do Programa de Pós-graduação UNIVERSIDADE FEDERAL DE UBERLÂNDIA Faculdade de Engenharia Mecânica Programa de Pós-graduação em Engenharia Mecânica www.posgrad.mecanica.ufu.br SIMULAÇÃO
Leia maispropriedades comparáveis ao diamante cristalino. Apesar disto, não existem evidências experimentais claras da formação de β C 3
1 Introdução Uma das técnicas que permitem modificar as propriedades superficiais de um material consiste em aplicar sobre ele um revestimento na forma de filme fino de modo que as propriedades finais
Leia mais5. CARACTERIZAÇÃO POR MICROSCOPIA ELETRONICA DE TRANSMISSÃO E VARREDURA.
Capítulo 5. Caracterizaç ão por Microscopia Eletrônica de Transmissão e Varredura 5. CARACTERIZAÇÃO POR MICROSCOPIA ELETRONICA DE TRANSMISSÃO E VARREDURA. Neste capitulo são, apresentados os resultados
Leia mais5.2 - TESTES DE ULTRAMICRODUREZA
5.2 - TESTES DE ULTRAMICRODUREZA Para a extracção dos valores de ultramicrodureza das multicamadas de TiN/ZrN empregou-se o ultramicrodurómetro Fischerscope H1 existente no Departamento de Engenharia Mecânica
Leia mais4.3 MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA - MICROESTRUTURAS DOS REVESTIMENTOS APROVADOS E REJEITADOS
51 4.3 MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA - MICROESTRUTURAS DOS REVESTIMENTOS APROVADOS E REJEITADOS Nas Fotografias 21 e 22 são apresentadas as microestruturas da camada de zinco da porca defeituosa,
Leia maisConclusões. com a linha de deposição de filmes de BSCCO estabelecida no diagrama log p O2
CONCLUSÕES 244 Conclusões Os resultados experimentais e a análise feita neste trabalho, realizado com o objectivo de depositar filmes finos supercondutores do sistema Bi-Sr-Ca-Cu-O por MOCVD assistido
Leia maisCiência de Materiais. LEGI. Ano lectivo ESTRUTURA CRISTALINA
1. I) Desenhe em cubos unitários os planos com os seguintes índices de Miller: a) ( 1 0 1) b) ( 0 3 1) c) ( 1 2 3) II) Desenhe em cubos unitários as direcções com os seguintes índices: a) [ 1 0 1] b) [
Leia mais7. Resultados e Análises: Ensaios de Rampa 7.1. Considerações Iniciais
7. Resultados e Análises: Ensaios de Rampa 7.1. Considerações Iniciais Neste capítulo são apresentados e analisados os ensaios de rampa realizados nesta tese. Avalia-se a influência da tensão confinante,
Leia maisCiências da Arte e do Património
Departamento de Química e Bioquímica Ciências da Arte e do Património Práticas Laboratoriais de Diagnóstico e Teoria do Restauro I 1 A identificação de metais e dos minerais, tanto nas pastas como nos
Leia mais6 Efeito da Temperatura do Substrato
6 Efeito da Temperatura do Substrato 6.1. Introdução Neste Capítulo são apresentados os resultados obtidos no estudo da influência da temperatura do substrato na deposição e na estrutura de filmes de a-c:h.
Leia maisPRODUÇÃO E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS METÁLICOS VÍTREOS E NANOCRISTALINOS DE LIGAS À BASE DE Ti, Si, Zr E Cu OBTIDOS POR MAGNETRON SPUTTERING
PRODUÇÃO E CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS METÁLICOS VÍTREOS E NANOCRISTALINOS DE LIGAS À BASE DE Ti, Si, Zr E Cu OBTIDOS POR MAGNETRON SPUTTERING M.F. de Carvalho 1, M.S.R. Perticarrari 1, E. Joanni 2,
Leia mais4 A natureza da deformação mecânica do Nitreto de Gálio não dopado por nanoindentação
4 A natureza da deformação mecânica do Nitreto de Gálio não dopado por nanoindentação Neste capítulo será apresentado o estudo sobre o mecanismo de deformação de filmes finos de GaN não dopado, com orientação
Leia maisLista de Problemas. Universidade Federal do Rio Grande do Sul Instituto de Física Departamento de Física FIS01044 UNIDADE III Interferência
Universidade Federal do Rio Grande do Sul Instituto de Física Departamento de Física FIS01044 UNIDADE III Interferência Lista de Problemas Problemas extraídos de HALLIDAY, D., RESNICK, R., WALKER, J. Fundamentos
Leia maisAES/XPS ESPECTROSCOPIA DE ELECTRÕES AUGER ESPECTROSCOPIA DE FOTOELECTRÕES X. Doutora M. F. Montemor Instituto Superior Técnico Julho de 2002
ESPECTROSCOPIA DE ELECTRÕES AUGER ESPECTROSCOPIA DE FOTOELECTRÕES X Doutora M. F. Montemor Instituto Superior Técnico Julho de 2002 ESPECTROSCOPIA DE ELECTRÕES AUGER (AES) ESPECTROSCOPIA DE FOTOELECTRÕES
Leia mais7 O processo de deformação mecânica do InP em nanoindentações utilizando uma ponta Berkovich
7 O processo de deformação mecânica do InP em nanoindentações Nanoindentações com forças variadas foram realizadas no cristal de InP (1) utilizando uma ponta tipo Berkovich. As curvas de nanoindentação
Leia maisProva escrita de: 2º Exame Final de Ciência de Materiais (Correcção) Nome:
Prova escrita de: 2º Exame Final de Ciência de Materiais (Correcção) Lisboa, 29 de Janeiro de 2008 Nome: Número: Curso: 1. Aplicou-se uma carga de tracção de 48900N a um varão de aço com 25cm de comprimento
Leia maisProva escrita de: 2º Exame de Ciência de Materiais. Lisboa, 14 de Julho de Resolução
Prova escrita de: 2º Exame de Ciência de Materiais Lisboa, 14 de Julho de 2008 Resolução 1. Um determinado latão, cujo módulo de Young é MPa, apresenta uma tensão de cedência de 345MPa. (a) Considerando
Leia mais5 Resultados Caracterização Microestrutural
5 Resultados 5.. Caracterização Microestrutural A análise microestrutural foi realizada através de microscopia ótica (MO) e microscopia eletrônica de varredura (MEV). As amostras foram preparadas pelo
Leia maisResolução do 2º Exame Final de Ciência de Materiais. Lisboa, 6 de Fevereiro de Resolução COTAÇÕES
Resolução do 2º Exame Final de Ciência de Materiais Lisboa, 6 de Fevereiro de 2010 Resolução COTAÇÕES Pergunta Cotação 1. (a) 0,50 1. (b) 0,50 1. (c) 0,50 2. (a) 1,00 2. (b) 1,00 2. (c) 1,00 2. (d) 0,50
Leia maisESTUDO DAS PROPRIEDADES DOS FILMES DE TI-AL-V-N OBTIDOS POR TRIODO MAGNETRON SPUTTERING 1
ESTUDO DAS PROPRIEDADES DOS FILMES DE TI-AL-V-N OBTIDOS POR TRIODO MAGNETRON SPUTTERING 1 Abel André Cândido Recco 2 Anezka Popovski Kolaceke 3, Luis César Fontana 4, Milton José Cinelli 4 Palavras-chave:
Leia mais6 Conclusões Conclusões
Conclusões 188 6 Conclusões 6.1. Conclusões Os objetivos principais, em especial os resultados referente à implantação, caracterização e teste da técnica de co-deposição térmica, foram alcançados em sua
Leia maisCapítulo 6 Estrutura dos materiais
Capítulo Estrutura dos materiais. O Molibdénio (Mo) apresenta estrutura cristalina cúbica de corpo centrado (CCC) sendo o seu raio atómico 0, nm. O peso atómico do Mo é 95,94 g/mol e a sua densidade é
Leia maisÍndice de refracção e propriedades ópticas. Química 12º Ano. Unidade 3 Plásticos, vidros e novos materiais Actividades de Projecto Laboratorial
Índice de refracção e propriedades ópticas Química 12º Ano Unidade 3 Plásticos, vidros e novos materiais Actividades de Projecto Laboratorial Dezembro 2005 Jorge R. Frade, Ana Teresa Paiva Dep. Eng. Cerâmica
Leia mais4 Resultados Análise das soluções sólidas: Cr 2x Fe 2-2x Mo 3 O 12, Al 2x Cr 2-2x Mo 3 O 12, e Al 2x Fe 2-2x Mo 3 O 12.
4 Resultados 4.1. Análise das soluções sólidas: Cr 2x Fe 2-2x Mo 3 O 12, Al 2x Cr 2-2x Mo 3 O 12, e Al 2x Fe 2-2x Mo 3 O 12. 4.1.1. Análise da solubilidade utilizando MEV A análise por microscopia eletrônica
Leia mais7 Identificação de Regiões de Tensão ao Redor das Indentações por Catodoluminescência
7 Identificação de Regiões de Tensão ao Redor das Indentações por Catodoluminescência Neste capítulo será apresentado o estudo sobre a identificação de regiões de tensão ao redor de nanoindentações realizadas
Leia maisDifracção de electrões
Difracção de electrões Objectivos: i) Verificar que electrões com energias da ordem de -0 kev são difractados por um filme de grafite, exibindo o seu carácter ondulatório; ii) verificar a relação de de
Leia maisDeposição Física de Vapores Physical Vapour Deposition (PVD)
Deposição Física de Vapores Physical Vapour Deposition (PVD) Microelectrónica III Mestrado em Eng.ª Microelectrónica e Nanotecnologia 1 Sumário Tecnologia de Vácuo para Microfabricação Revisões de Física
Leia mais5 Discussão dos resultados
103 5 Discussão dos resultados É importante observar a ausência de dados na literatura sobre soldagem de poliamida 12 pelo processo de termofusão, para comparação específica com os dados obtidos nesta
Leia mais6 O campo magnético terrestre
Universidade Nova de Lisboa, Faculdade de Ciências e Tecnologia Departamento de Física Electromagnetismo e Física Moderna 6 O campo magnético terrestre Determinação da sua intensidade e orientação Demonstrar
Leia maisMecânica dos Fluidos I 2013/2014
1. INSTALAÇÃO Mecânica dos Fluidos I 2013/2014 Trabalho Prático «Estudo Experimental de um Jacto Livre» O escoamento é produzido por um jacto de ar com simetria circular e 14 milímetros de diâmetro interior
Leia maisESTADOS EXCITADOS: fonões, electrões livres
Capítulo III.1 DEFEITOS (IMPERFEIÇÕES) NOS SÓLIDOS CRISTALINOS ESTADOS EXCITADOS: fonões, electrões livres DEFEITOS TRANSIENTES: fotões, electrões, neutrões tõ IMPERFEIÇÕES ESTRUTURAIS IMPORTÂNCIA DEFEITOS
Leia mais50% B TiB. Ti 3 B 4. Ti 6 Si 2 B. Ti 3 Si
61 4. RESULTADOS E DISCUSSÃO. 4.1. Ligas Ti-Si- via fusão a arco. As ligas produzidas neste trabalho compreendem a faixa de composição de Ti (100-x-y) Si x y (5 x 28 e 0 y 20). A Figura 4.1 apresenta a
Leia maisEstudo de superfícies de sólidos Maria da Conceição Paiva 1
Estudo de superfícies de sólidos 18-12-2006 Maria da Conceição Paiva 1 Estudo de Superfícies de Sólidos - XPS Métodos de caracterização química e físico-química de superfícies: Espectroscopia fotoelectrónica
Leia mais4 Resultados Experimentais
77 4 Resultados Experimentais As amostras soldadas de acordo com os parâmetros da tabela 3-2 do capítulo 3 foram submetidas aos ensaios mecânicos de tração e rigidez, análises térmicas (calorimetria diferencial
Leia maisMATERIAIS DE CONSTRUÇÂO MECÂNICA II EM 307 TRABALHO PRÁTICO N.º 1. Observação e análise microscópica de diferentes tipos de materiais cerâmicos
MATERIAIS DE CONSTRUÇÂO MECÂNICA II EM 307 TRABALHO PRÁTICO N.º 1 Observação e análise microscópica de diferentes tipos de materiais cerâmicos Local: Laboratório de Materialografia Responsáveis: Jorge
Leia maisCálculo de Tensões Residuais em Filmes Finos Através de Difração de Raios-X com Ângulo de incidência Rasante
Escola Politécnica da Universidade de São Paulo Departamento de Engenharia Mecânica Laboratório de Fenômenos de Superfícies Cálculo de Tensões Residuais em Filmes Finos Através de Difração de Raios-X com
Leia maisO espectro eletromagnético
Difração de Raios X O espectro eletromagnético luz visível raios-x microondas raios gama UV infravermelho ondas de rádio Comprimento de onda (nm) Raios Absorção, um fóton de energia é absorvido promovendo
Leia maisPAPEL DE NANO-ADITIVOS NA FUNCIONALIZAÇÃO DE ARGAMASSAS
4º Congresso Português de Argamassas e ETICS, Coimbra, 29/30 Março 2012 PAPEL DE NANO-ADITIVOS NA FUNCIONALIZAÇÃO DE ARGAMASSAS S. LUCAS 1, A. L. VELOSA 1, J. B. AGUIAR 2, V. M. FERREIRA 1 1 Universidade
Leia maisTRABALHO Nº 1 DETERMINAÇÃO DO COMPRIMENTO DE ONDA DE UMA RADIAÇÃO DUPLA FENDA DE YOUNG
TRABALHO Nº 1 DETERMINAÇÃO DO COMPRIMENTO DE ONDA DE UMA RADIAÇÃO DUPLA FENDA DE YOUNG Pretende-se realizar a experiência clássica de Thomas Young e utilizar o padrão de interferência de duas fontes pontuais
Leia maisA Operação de Prensagem: Considerações Técnicas e sua Aplicação Industrial. Parte IV: Extração da Peça e Resistência Mecânica a Verde
A Operação de Prensagem: Considerações Técnicas e sua Aplicação Industrial. Parte IV: Extração da Peça e Resistência Mecânica a Verde J.L. Amorós Albaro Resumo: No desenvolvimento do tema se aborda primeiramente
Leia maisEXERCÍCIO 3 - INTERFERÊNCIA
CURSO: ENGENHARIA - UFSCar - TURMA 09.904-0 Profa. Dra. Ignez Caracelli - DF 17 de novembro de 2016 EXERCÍCIO 3 - INTERFERÊNCIA Exercícios extraídos do livro Fundamentos de Física volume 4: Óptica e Física
Leia maisUniversidade Federal do Rio Grande do Sul. Instituto de Física Departamento de Física. FIS01184 Física IV-C Área 1 Lista 1
Universidade Federal do Rio Grande do Sul Instituto de Física Departamento de Física FIS01184 Física IV-C Área 1 Lista 1 1.A luz do Sol no limite superior da atmosfera terrestre tem uma intensidade de
Leia maisIntrodução 1.1. Motivação
1 Introdução 1.1. Motivação À medida que a demanda de energia aumenta, a necessidade de gerar eletricidade por um processo que não afete o meio ambiente se torna imprescindível. A conversão de luz solar
Leia maisA6 Estrutura não cristalina imperfeição: defeitos lineares, planares e em volume
A6 Estrutura não cristalina imperfeição: defeitos lineares, planares e em volume Deslocações no KCl. O KCl é transparente e as deslocações (linhas brancas) foram decoradas com impurezas para as tornar
Leia maisGrupo I Caso Prático (10 valores) tempo estimado: 1h05min
1ª Época 24 de Janeiro de 2009 Complementos de Tecnologia Mecânica Mestrado em Engenharia Mecânica Professor Pedro Vilaça 1º Semestre do ano lectivo 2008/2009 Duração: 2h00 Grupo I Caso Prático (10 valores)
Leia maisESTUDO DA VARIAÇÃO DO CRESCIMENTO DA CORTIÇA NA DIRECÇÃO AXIAL E TANGENCIAL
ESTUDO DA VARIAÇÃO DO CRESCIMENTO DA CORTIÇA NA DIRECÇÃO AXIAL E TANGENCIAL OFÉLIA ANJOS, MARTA MARGARIDO Unidade Departamental de Silvicultura e Recursos Naturais, Escola Superior Agrária, Quinta da Senhora
Leia maisLista de Figuras. Figura 4.2. Figura 4.3.
i Lista de Figuras Figura 1.1. Representação esquemática das reações químicas envolvidas na preparação dos precursores orgânicos... 12 Figura 1.2. Esquema representativo da eletrooxidação da molécula de
Leia maisEletromagnetismo refsant
Eletromagnetismo refsant 1. A figura mostra duas cargas elétricas e as linhas de campo elétrico criadas por essas cargas. 1.1 Indique o sinal de cada uma das cargas. 1.2refira, justificando, em que região,
Leia maisFOLHA DE RESPOSTAS. Universidade Técnica de Lisboa. Instituto Superior Técnico. Resolução. Ciência de Materiais 1º Teste (14.Abril.
Universidade Técnica de Lisboa Instituto Superior Técnico Ciência de Materiais 1º Teste (14.Abril.2011) Resolução FOLHA DE RESPOSTAS Pergunta Cotação 1. (a) 0,50 1. (b) 1,00 1. (c) 0,50 1. (d) 0,50 2.
Leia mais5 Interfaces de Semicondutores 2D com Grafeno
84 5 Interfaces de Semicondutores 2D com Grafeno "O começo de todas as ciências é o espanto de as coisas serem o que são" Aristóteles No final dos anos 90 foi sintetizado experimentalmente o grafeno, folha
Leia maisCORRECÇÃO do 1º Teste de Ciência de Materiais COTAÇÕES. Cotaçãoo
CORRECÇÃO do 1º Teste de Ciência de Materiais COTAÇÕES Pergunta Cotaçãoo 1. (a) 0,50 1. (b) 0,50 2. (a) 0,50 2. (b) 0,50 2. (c) 0,50 2. (d) 0,50 3. (a) 0,50 3. (b) 0,50 3. (c) 0,50 3. (d) 0,50 3. (e) 0,50
Leia maisTC MECÂNICA DOS SOLOS TENSÕES NO SOLO PARTE II
TENSÕES NO SOLO PARTE II Tensão superficial e Capilaridade - A água apresenta um comportamento diferenciado na superfície em contato com o ar; - Forças intermoleculares: atração dos hidrogênios de determinadas
Leia mais9.1 Medição do hidrogênio difusível pela técnica de cromatografia gasosa
95 9 Resultados 9.1 Medição do hidrogênio difusível pela técnica de cromatografia gasosa As análises realizadas pela UFMG para cada tipo de consumível resultaram nas seguintes quantidades de hidrogênio
Leia mais2.1 Princípios gerais da ligação química. Ligações químicas
2.1 Princípios gerais da ligação química Ligações químicas A associação de átomos formando moléculas, ou em agregados de maiores dimensões como, por exemplo, nos metais, é possível pelo estabelecimento
Leia mais2ª Ficha de Avaliação de Conhecimentos Turma: 10ºA. Física e Química A 10ºAno VERSÃO 1
VERSÃO 1 1. Relativamente à pergunta Como pode o carvão ser feito da mesma matéria que o diamante?, atualmente um aluno do secundário terá uma resposta sobre o que constitui uma e outra substância: ambas
Leia mais5 Discussão de resultados 5.1. Variação dos parâmetros de rede com a composição (x)
5 Discussão de resultados 5.1. Variação dos parâmetros de rede com a composição (x) As análises de difração de raios-x, a temperatura ambiente, para as soluções sólidas: Cr 2x Fe 2-2x Mo 3 O 12, Al 2x
Leia maisRESUMO. rugosidade medido e pelo controlo. dirnensional realizado. Para o estudo realizado, utilizou-se a. aplicação de CAM comercial -
113 maquinagem em situações de geometria distintas. maquinagem pode ser avaliada através de maquinagem e a eficiência na utilização dos ter em conta, pois podem reflectir-se ao maquinagem depende, entre
Leia maisEstrutura strutura Vertical ertical do Geopotencial
Estrutura strutura Vertical ertical do Geopotencial Variabilidade da Altura do Geopotencial DINÂMICA DO CLIMA Recordar Trabalho Anterior A altura do geopotencial varia mais no Verão no Hemisfério Sul e
Leia maisFísica IV. Prática: Interferência e Difração. Baseado no material preparado por Sandro Fonseca Helena Malbouisson Clemencia Mora
Física IV Prática: Interferência e Difração Baseado no material preparado por Sandro Fonseca Helena Malbouisson Clemencia Mora Interferência Princípio de Huygens Todos os pontos de uma frente de onda se
Leia maisGina Matias, Isabel Torres, Paulina Faria
Gina Matias, Isabel Torres, Paulina Faria Com vista à conservação dos edifícios mais antigos, constituídos, essencialmente, por alvenarias com argamassas de cal, é importante reconhecer, não só as técnicas
Leia maisSíntese e Caracterização de Óxidos Nanoestruturados: Óxidos de Vanádio
Síntese e Caracterização de Óxidos Nanoestruturados: Óxidos de Vanádio Aluna: Laís Groetares de Lima Orientador: Roberto de Avillez Introdução Nos últimos anos, a atenção tem sido cada vez maior em nanomateriais,
Leia mais6 Efeito da deformação mecânica do óxido nativo em nanoindentações no InP
6 Efeito da deformação mecânica do óxido nativo em nanoindentações no InP Foi observado que o óxido nativo tem um notável efeito na deformação do InP durante testes de nanoindentação. As indentações foram
Leia maisModelagem computacional aplicada à análise do gradiente de tensões superficiais
Modelagem computacional aplicada à análise do gradiente de tensões superficiais Vladimir Ivanovitch Monin Joaquim Teixeira de Assis Susana Marrero Iglesias Universidade do stado do Rio de Janeiro, Instituto
Leia maisdefi departamento de física
defi departamento de física Laboratórios de Física www.defi.isep.ipp.pt Diâmetro de um fio com laser Instituto Superior de Engenharia do Porto Departamento de Física Rua Dr. António Bernardino de Almeida,
Leia maisPROCESSOS DE FABRICAÇÃO III SOLDAGEM METALURGIA DA SOLDAGEM
PROCESSOS DE FABRICAÇÃO III SOLDAGEM METALURGIA DA SOLDAGEM Professor: Moisés Luiz Lagares Júnior 1 METALURGIA DA SOLDAGEM A JUNTA SOLDADA Consiste: Metal de Solda, Zona Afetada pelo Calor (ZAC), Metal
Leia mais