Bombas turbomoleculares. Desde soluções de vácuo perfeitas até aplicações desafiadoras

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1 Bombas turbomoleculares Desde soluções de vácuo perfeitas até aplicações desafiadoras

2 Bombas turbomoleculares A série completa 2

3 Índice. Bombas turbomoleculares... 4 Desde soluções de vácuo perfeitas até aplicações desafiadoras... 4 Tecnologias de rolamentos... 6 HiPace Bombas turbos com rolamentos de esfera compacta ou rolamentos híbridos na faixa de velocidade de bombeamento entre 10 a 800 l/s Visão geral das séries e aplicações... 9 Velocidades de bombeamento e dimensões Dados técnicos e números de pedido HiPace Bombas turbos compactas com rolamentos híbridos na faixa de velocidade de bombeamento entre a l/s Visão geral das séries e aplicações Velocidades de bombeamento e dimensões Dados técnicos e números de pedido HiPace M, ATH 500 M Bombas turbos compactas com levitação magnética na faixa de velocidade de bombeamento entre 300 a 800 l/s Visão geral das séries e aplicações Velocidades de bombeamento e dimensões Dados técnicos e números de pedido ATH M, ATP 2300 M Bombas turbos compactas com levitação magnética na faixa de velocidade de bombeamento entre a l/s Visão geral das séries e aplicações Velocidades de bombeamento e dimensões Dados técnicos e números de pedido Soluções de vácuo de uma única fonte Segmentos de mercado e aplicações Visão geral do produto

4 Bombas turbomoleculares Desde soluções de vácuo perfeitas até aplicações desafiadoras 4 Com a cortesia do CERN

5 A origem Porque é que todas as bombas turbos são chamadas de turbo? Porque as referências polivalentes foram inventadas pela Pfeiffer Vacuum há mais de 50 anos sob este mesmo nome: uma pedra milenar definitiva em tecnologia de vácuo! As nossas bombas turbo representam a última geração de soluções de vácuo orientadas para o futuro, para uma vasta gama de usos. Esta gama não inclui somente análise, processo de vácuo e tecnologia de semicondutores, mas também revestimento, pesquisa e desenvolvimento, assim como aplicações industriais. A família de bomba turbo inclui um largo espectro de produtos na faixa de velocidades de bombeamento entre 10 e l/s. As bombas são eficientes e flexíveis. Sistemas bem aprovados de rolamentos oferecem maior confiabilidade. Graças ao comprovado desenho de rotor, são alcançados valores extremamente altos para velocidades de bombeamento, compatibilidade com bomba de pré-vácuo e vazão de gás, assim como compressão para gases leves. Séries HiPace : Bomba turbo com rolamentos de esfera compacta ou com rolamentos híbridos na classe de velocidade de bombeamento entre 10 a 800 l/s. Desenho robusto. Necessidades mínimas de espaço. De alta confiança. HiPace : Bomba turbo compacta com rolamentos híbridos na classe de velocidade de bombeamento entre a l/s. Alta velocidade de bombeamento. Alta vazão de gás. Tempo de arranque curto. HiPace M, ATH 500 M: Bomba turbo compacta com levitação magnética na classe de velocidade de bombeamento entre 300 a 800 l/s. Alta vazão de gás. Baixa vibração de operação. Baixo consumo de energia. ATH M: Bomba turbo compacta com levitação magnética na classe de velocidade de bombeamento entre a l/s. Alta compatibilidade com bomba de pré-vácuo. Vazão de gás muito alta. Excelente estabilidade a longo prazo. 5

6 Bombas turbomoleculares Tecnologias de rolamentos Rolamento híbrido A combinação de um rolamento esférico de cerâmica no lado do pré-vácuo e um rolamento radial de imã permanente no lado do alto vácuo é chamado de rolamento híbrido. Esta tecnologia de rolamento não requer eletroímãs e tem uma longa vida útil, com intervalos de manutenção de aproximadamente 4 anos. O rolamento de esferas e o reservatório do fluido operacional podem ser substituídos localmente em menos de 30 minutos. Rolamento de imã permanente Rolamento de segurança Eixo do rotor Rolamentos de esfera cerâmica 6

7 Levitação magnética Rolamentos eletromagnéticos também são chamados de levitados magneticamente ativos, porque a posição do rotor é continuamente monitorada e ajustada adequadamente. Isto habilita uma operação sem desgaste e de baixa vibração, com compensação automática de desequilíbrios. Estabilidade contínua do rotor está assegurada. Estes rolamentos não necessitam de manutenção e não requerem lubrificação. Rolamento de segurança superior Rolamento radial superior Eixo do rotor Rolamentos radial inferior Rolamento axial superior Rolamento de segurança inferior Rolamento axial inferior Montagem de um rotor de bomba turbo Há cinco graus de liberdade no total para a montagem de um rotor de bomba turbo, dois graus de liberdade nos níveis radiais inferiores e superiores e um na direção axial. Y1 Z X1 Y2 X2 7

8 HiPace Bomba turbo com rolamentos de esfera compacta ou rolamentos híbridos na faixa de velocidade de bombeamento entre 10 a 800 l/s O que é a HiPace? Controlador eletrônico integrado A HiPace representa uma série completa de bombas turbos poderosas e compactas, na faixa de velocidades de bombeamento entre 10 e l/s. Provê alta economia e flexibilidade, permitindo instalar quase todas as bombas desta série em qualquer orientação. O sistema aprovado de rolamentos oferece uma confiabilidade sem comparação. Altas velocidades de bombeamento, alta compatibilidade com bomba de pré- -vácuo e alta vazão de gás, assim como excelente compressão para gases leves é possível graças ao desenho do rotor inovador. O controlador eletrônico integrado evita custos adicionais com cabos. Além disso, várias versões de interface - Profibus, DeviceNet ou E74 - estão disponíveis. Graças a componentes eletrônicos inovadores, dobramos a vida destas poderosas unidades de controle. HiPace 10 HiPace 80 HiPace 300 HiPace 800 Benefícios para o cliente Série completa com velocidades de bombeamento entre 10 to 800 l/s Desenho robusto e sistema aprovado de rolamentos oferecem a mais alta confiabilidade. Necessidades de espaços mínimos devido a construção compacta Alta vazão de gás e alta velocidade de bombeamento Instalação em qualquer orientação 1) Adequado para uso industrial graças à classe de proteção IP 54 Versão para gases corrosivos disponível Certificação SEMI S2 e UL Gama completa de acessórios estende os possíveis usos Intervalos de manutenção estendidos Substituição de rolamentos no local 1) HiPace C: 0 a 90 / HiPace Plus: 0 8

9 Tempo de arranque curto. Tecnologia de alto desempenho Universalmente aplicável O tempo de arranque da HiPace foi significativamente reduzido. Isto torna as bombas prontas para o trabalho mais rapidamente. Este é um benefício incalculável para a sua produção. Além disso, nós provemos funcionalidades remotas e sensoriais adicionais que permitem avaliar dados sobre a bomba, como a temperatura, por exemplo. Os diagnósticos aprimorados tornam possível melhorar a disponibilidade da bomba e de serviço de apoio. Estamos fixando tendências com o desenho inteligente da HiPace. O corpo funcional é em parte responsável, porque torna as bombas extremamente leves e alarga o espectro de aplicações. Também, a inovadora geometria de rotor provê uma operação silenciosa e estabelece padrões para cargas de gás significativamente maiores. As bombas HiPace Plus são projetadas especialmente para microscopia eletrônica e espectrometria de massa de alto desempenho. As nossas séries HiPace C são bombas turbo especiais para aplicações corrosivas. Além disso, temos as bombas HiPace P que são adequadas para uso industrial, porque são insensíveis a pós industriais e a partículas intrusivas. Visão geral das séries e aplicações Análise Semicondutor Revestimento Indústria Pesquisa & Desenvolvimento n recomendado Microscopia eletrônica Detecção de vazamento Espectrometria de massa Análise de superfície Monitoramento de plasma Análise de gases residuais Litografia PVD (Deposição Física a Vapor) CVD (Deposição Química a Vapor) Corrosão por plasma Implantação Fonte Implantação linha do feixe Inspeção Junção MBE (Epitaxia por Feixe Molecular) Load-locks, pré-câmaras, sistemas de manuseio Display de Tela plana (FPD) LED / OLED Revestimento de disco rígido Fotovoltaicos Revestimento de vidro (PVD) Produção de CD / DVD / Blu-ray (PVD) Revestimento ótico (PVD) Proteção contra desgaste (PVD, CVD) Revestimento de malha Tecnologia médica Detecção de vazamento industrial Soldagem por feixe de elétrons Isolação a vácuo Fabricação de lâmpadas e tubos de imagem Tratamento de calor Secagem a vácuo Fornos a vácuo Pesquisa nuclear Tecnologia de fusão Pesquisa de plasma Aceleradores de partículas Simulação espacial Pesquisa criogênica Física de partículas elementares Nanotecnologia Biotecnologia HiPace 10 n n n n n n n n n n n HiPace 60 P n n n n n n HiPace 80 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 300 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 300 C n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 300 P n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 300 Plus n n n n n n HiPace 400 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 400 P n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 700 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 700 P n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 700 Plus n n n n n n HiPace 800 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 800 P n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n P = Apropriado para o processo, insensível ao pó C = Versão para gás corrosivo 9

10 HiPace Velocidades de bombeamento e dimensões Velocidade de bombeamento HiPace 10, DN 25 HiPace 400, DN 100 N 2 He H 2 Ar S [l/s] 12 S [l/s] p [hpa] p [hpa] HiPace 80, DN 63 HiPace 700, DN 160 S [l/s] S [l/s] p [hpa] p [hpa] HiPace 300, DN 100 HiPace 800, DN 200 S [l/s] S [l/s] p [hpa] p [hpa] 10

11 Dimensões HiPace 10, DN 25 com TC Ø M DN 25 HV 40 M DN 16 ISO-KF HV DN 63 ISO-K HiPace 80, DN 63 ISO-K com TC Ø Ø86 M5 (6x) DN 16 ISO-KF HiPace 300, DN 100 ISO-K com TC 110 DN 16 ISO-KF HV DN 100 ISO-K Ø144 Ø110 M8 (5x) HiPace 400,DN 100 ISO-K com TC 400 DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF ø ø 8 HV DN 100 ISO-K HV DN 100 ISO-K DN 25 ISO-KF DN 25 ISO-KF Ø Ø8 HV DN 160 ISO-K HV DN 160 ISO-K Ø Ø Ø Ø M8 (6x) M8 (6x) DN 25 ISO-KF Ø8 HV DN 200 ISO-K Ø150 Ø ø ø ø ø 150 M8 (6x) M8 (6x) HiPace 700, DN 160 ISO-K com TC 400 HiPace 800, DN 200 ISO-K com TC 400 M8 (6x)

12 HiPace Dados técnicos e números de pedido Dados técnicos Bomba turbo Unidade HiPace 10 HiPace 80 HiPace 300 1) HiPace 300 2) Diâmetro nominal de conexão Flange (entrada) DN 25 DN 63 DN 100 DN 100 Flange (saída) ISO-KF DN 16 DN 16 DN 16 DN 16 Conexão de ventilação G 1/8 G 1/8 G 1/8 Velocidade de bombeamento para: Nitrogênio (N 2) l/s Hélio (He) l/s Hidrogênio (H 2) l/s 3, Argônio (Ar) l/s 11, Taxa de compressão para: Nitrogênio (N 2) > > > Hélio (He) , > > Hidrogênio (H 2) , Argônio (Ar) 2, > > > Pressão máx. de pré-vácuo para Nitrogênio (N 2) mbar Vazão de gás máx. à velocidade de rotação máx. para Nitrogênio (N 2) mbar l/s 0,37 1, Pressão final mbar < < < < Velocidade de rotação RPM 90, Tempo de arranque min 0,9 1, ,8 Tipo de refrigeração, Padrão ar ar ar Água Consumo de água de refrigeração l/min 0,83 Temperatura de água de refrigeração C Tensão de operação 3) V DC 24 ± 5% 24 ± 5% 24 ± 5% 24 ± 5% Potência máx. W 28, Peso kg 1,8 2,4 5,8 8,2 6,7 8,7 1) com controlador eletrônico TC 110 2) com controlador eletrônico TC 400 3) com controlador eletrônico Pode encontrar dados técnicos e acessórios adicionais na Internet em: Números de pedido bomba turbo HiPace 10 HiPace 80 HiPace 300 Controlador \ flange DN 25 DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K DN 63 CF-F DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F DN 100 CF-F TC 110 PM P PM P PM P PM P PM P PM P PM P TC 400 PM P PM P PM P TCP 350 PM P PM P PM P PM P PM P PM P

13 Dados técnicos bomba turbo Unidade HiPace 400 HiPace 700 HiPace 800 Diâmetro nominal de conexão Flange (entrada) DN 100 DN 160 DN 200 Flange (saída) ISO-KF DN 25 DN 25 DN 25 Conexão de ventilação G 1/8 G 1/8 G 1/8 Velocidade de bombeamento para: Nitrogênio (N 2) l/s Hélio (He) l/s Hidrogênio (H 2) l/s Argônio (Ar) l/s Taxa de compressão para: Nitrogênio (N 2) > > > Hélio (He) Hidrogênio (H 2) Argônio (Ar) > > > Pressão máx. de pré-vácuo para Nitrogênio (N 2) mbar Vazão de gás máx. à velocidade de rotação máx. para Nitrogênio (N 2) mbar l/s 6,5 6,5 6,5 Pressão final mbar < < < Velocidade de rotação RPM Tempo de arranque min Tipo de refrigeração, Padrão Água Água Água Consumo de água de refrigeração l/min 1,6 1,6 1,6 Temperatura de água de refrigeração C Tensão de operação 1) V DC 48 ± 5% 48 ± 5% 48 ± 5% Potência máx. W Peso kg 11,6 17,5 11,5 17,4 12,8 19,1 1) com controlador eletrônico Pode encontrar dados técnicos e acessórios adicionais na Internet em: Números de pedido bomba turbo HiPace 400 HiPace 700 Controlador \ flange DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F DN 100 CF-F DN 160 ISO-K DN 160 ISO-F DN 160 CF-F TC 110 TC 400 PM P PM P PM P PM P PM P PM P TCP 350 PM P PM P PM P PM P PM P PM P bomba turbo HiPace 800 Controlador \ flange DN 200 ISO-K DN 200 ISO-F DN 200 CF-F TC 110 TC 400 PM P PM P PM P TCP

14 HiPace Bomba turbo compacta com rolamentos híbridos na faixa de velocidade de bombeamento entre a l/s Sensores inteligentes Tecnologia eficiente As bombas turbos HiPace 1200 a 2300 podem ser montadas de cabeça para baixo. O sistema aprovado de rolamentos oferece uma confiabilidade sem comparação. Graças ao comprovado desenho de rotor, são alcançados valores muito altos para velocidades de bombeamento, compatibilidade com bomba de pré-vácuo e vazão de gás, assim como compressão para gases leves. Combinado com um sistema de sensores confiável, a série HiPace alcança o nível de segurança mais alto no mercado. Com o sistema de rolamentos otimizado e aprovado, nós não só lhe oferecemos desempenho melhorado comparado com os competidores mas também principalmente uma vida útil mais longa. Nesta série, uma válvula de purga de gás protege os rolamentos de partículas ou gases reativos. A HiPace portanto não é apenas compacta, mas também extremamente robusta e adequada para uso industrial, resultando em uma capacidade de integração otimizada. Tempo é dinheiro - intervalos de serviço estendidos e substituição fácil de rolamentos no local falam por si. HiPace 1200 HiPace 1500 HiPace 1800 HiPace 2300 Benefícios para o cliente Quatro tamanhos com velocidades de bombeamento entre to l/s Altas velocidades de bombeamento para gases leves (H 2, He) e gases pesados (Ar, CF 4) Alta vazão de gás, até mesmo para gases pesados (Ar, CF 4) Posição de instalação de 0 à 90 e de 90 à 180 disponíveis Versão para gases corrosivos (tipo C) disponível Sistema de gás de purga integrado com regulador e válvula Larga faixa de tensão: 90 a 265 V Interfaces: RS-485, Remoto; Profibus ou DeviceNet opcional Compatível com SEMI S2, certificação UL, CSA e TÜV Adequado para uso industrial graças à classe de proteção IP 54 Alta capacidade de processo, resistente a partículas 14

15 Controlador eletrônico integrado Projeto sofisticado O controlador eletrônico integrado evita o custo com cabos. Além disso, eles estão disponíveis com várias versões de interface com o mesmo volume estrutural. Através de componentes eletrônicos inovadores, dobramos a vida destas poderosas unidades de controle. O tempo de arranque da HiPace também foi consideravelmente reduzido, tornando a bomba pronta para operação em um período de tempo mais curto ainda. Além disso, nós provemos funcionalidades remotas e sensoriais adicionais. Estas permitem avaliar dados sobre a bomba, como a temperatura, por exemplo. Diagnósticos melhorados asseguram uma máxima disponibilidade da bomba por meio de manutenção baseada em estado e serviço de apoio de uma maneira inteligente. Estamos fixando tendências em termos de eficácia com o desenho inteligente da HiPace. Isto é evidenciado também pelo corpo funcional, tornando as bombas extremamente leves e estendendo o espectro de aplicações. A inovadora geometria de rotor para uma operação de baixa vibração também fixa tendências. E o sistema de refrigeração integrado assegura que as bombas turbo podem se tornar mais poderosas sem sobrecarrega-las. Visão geral das séries e aplicações Análise Semicondutor Revestimento Indústria Pesquisa & Desenvolvimento n recomendado Microscopia eletrônica Detecção de vazamento Espectrometria de massa Análise de superfície Monitoramento de plasma Análise de gases residuais Litografia PVD (Deposição Física a Vapor) CVD (Deposição Química a Vapor) Corrosão por plasma Implantação Fonte Implantação Linha do feixe Inspeção Junção MBE (Epitaxia por Feixe Molecular) Load-lock, pré-câmaras, sistemas de manuseio Display de tela plana (FPD) LED / OLED Revestimento de disco rígido Fotovoltaicos Revestimento de vidro (PVD) Produção de CD / DVD / Blu-ray (PVD) Revestimento ótico (PVD) Proteção contra desgaste (PVD, CVD) Revestimento de malha Tecnologia médica Detecção de vazamento industrial Soldagem por feixe de elétrons Isolação a vácuo Fabricação de lâmpadas e tubos de imagem Tratamento de calor Secagem a vácuo Fornos a vácuo Pesquisa nuclear Tecnologia de fusão Pesquisa de plasma Aceleradores de partículas Simulação espacial Pesquisa criogênica Física de partículas elementares Nanotecnologia Biotecnologia HiPace 1200 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 1200 C n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 1200 T n n n n HiPace 1500 n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 1500 C n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 1500 T n n n n HiPace 1800 n n n n n n n n n n n n n HiPace 1800 C n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 1800 T n n n HiPace 2300 n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 2300 C n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 2300 T n n n n C = Versão para gás corrosivo T = com gerenciamento de temperatura 15

16 HiPace Velocidade de bombeamento e dimensões Velocidade de bombeamento HiPace 1200, DN 200 HiPace 1800, DN 200 S [l/s] S [l/s] p [hpa] p [hpa] HiPace 1500, DN 250 HiPace 2300, DN 250 S [l/s] p [hpa] S [l/s] p [hpa] N 2 He H 2 Ar CF 4 16

17 70 Dimensões HiPace 1200, DN 200 ISO-K 12 Ø Ø264 Ø240 DN 200 ISO-K HV G1/8" HiPace 1500, DN 250 ISO-K 12 Ø DN 40 ISO-KF Ø230 Ø290 Ø264 DN 250 ISO-K HV G1/8" HiPace 1800, DN 200 ISO-K 12 Ø DN 40 ISO-KF Ø230 Ø311 Ø240 DN 200 ISO-K HV G1/8" HiPace 2300, DN 250 ISO-K 12 Ø Ø DN 40 ISO-KF Ø311 Ø290 Ø230 Ø311 Ø290 DN 250 ISO-K DN 250 ISO-K HV HV G1/8" G1/8" Ø230 DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF Ø230 17

18 HiPace Dados técnicos e números de pedido Dados técnicos bomba turbo Unidade HiPace 1200 HiPace 1500 HiPace 1800 HiPace 2300 Diâmetro nominal de conexão Flange (entrada) DN 200 DN 250 DN 200 DN 250 Flange (saída) ISO-KF DN 40 DN 40 DN 40 DN 40 Conexão de ventilação G 1/8 G 1/8 G 1/8 G 1/8 Velocidade de bombeamento para Nitrogênio (N 2) l/s Hélio (He) l/s Hidrogênio (H 2) l/s Argônio (Ar) l/s Tetrafluorometano (CF 4) l/s Taxa de compressão para Nitrogênio (N 2) > > > > Hélio (He) Hidrogênio (H 2) Argônio (Ar) > > > > Tetrafluorometano (CF 4) > > > > Pressão máx. de pré-vácuo para Nitrogênio (N 2) mbar 2 2 1,8 1,8 Vazão de gás máx. à velocidade de rotação máx. para Nitrogênio (N 2) mbar l/s Hélio (He) mbar l/s > 30 > Hidrogênio (H 2) mbar l/s > 30 > 30 > 30 > 30 Argônio (Ar) mbar l/s Tetrafluorometano (CF 4) mbar l/s Pressão final 1) mbar < < < < Velocidade de rotação RPM Tempo de arranque min 2,5 2,5 4 4 Tipo de refrigeração, Padrão Água Água Água Água Consumo de água de refrigeração 2) l/h Temperatura de água de refrigeração C Tensão V AC / / / / Potência máx. W Peso kg ) Medido com bomba de pré-vácuo sem óleo, purgada com gás inerte, sem aquecimento, vedado com elastômero 2) Com vazão máxima de gás e temperatura da água de refrigeração à 25 C Pode encontrar dados técnicos e acessórios adicionais na Internet em: 18

19 Números de pedido Flange ISO-K ISO-F CF-F ISO-K ISO-F CF-F Orientação da flange HV para cima (0 90 ) para baixo ( ) bomba turbo HiPace 1200, DN 200, TC 1200 Versão padrão PM P PM P PM P PM P PM P PM P Versão para gás corrosivo PM P PM P PM P PM P PM P PM P bomba turbo HiPace 1500, DN 250, TC 1200 Versão padrão PM P PM P PM P PM P PM P PM P Versão para gás corrosivo PM P PM P PM P PM P PM P PM P bomba turbo HiPace 1800, DN 200, TC 1200 Versão padrão PM P PM P PM P PM P Versão para gás corrosivo PM P PM P PM P PM P bomba turbo HiPace 2300, DN 250, TC 1200 Versão padrão PM P PM P PM P PM P PM P PM P Versão para gás corrosivo PM P PM P PM P PM P PM P PM P

20 HiPace M, ATH 500 M bomba turbo compacta com levitação magnética na faixa de velocidade de bombeamento entre 300 a 800 l/s Tecnicamente perfeito Compatível A HiPace M e a ATH 500 M têm um rolamento magnético ativo de 5-eixos. Usando apenas esta tecnologia de rolamento, a posição do rotor é controlada em tempo real. Durante a operação, há uma compensação de desequilíbrio automática que permite o mínimo de vibrações ou a melhor tolerância de processo possível. O baixo consumo de energia e os custos de serviço extra baixos garantem uma operação econômica. Os diferentes padrões de interface tornam a sua vida difícil? Nós oferecemos controlador eletrônico integrado em todas as bombas turbo magneticamente levitadas com interfaces e conectores padronizados. Você pode escolher. HiPace 300 M ATH 500 M HiPace 700 M HiPace 800 M Benefícios para o cliente Instalação muito fácil Montagem em qualquer posição Controlador eletrônico integrado Vácuo limpo graças aos rolamentos magnéticos sem lubrificante Alta vazão de gás e alta velocidade de bombeamento para todos os gases de processo Baixas vibrações e baixa dispersão de campo magnético Compensação de desequilíbrio automática Larga faixa de velocidades de rotação Excelente estabilidade e confiança a longo prazo. 20

21 Liderança Seguro A mais alta velocidade de bombeamento, compressão e vazão de gás e vibração mínima, são parâmetros de vácuo clássicos que os nossos clientes esperam. Todas as bombas magneticamente levitadas de 5 eixos na série fornecem dados de desempenho excelentes nas suas áreas. Isto faz com que sejam a resposta perfeita para todas as aplicações não corrosivas na área analítica, pesquisa & desenvolvimento como também em processos reativos nos setores dos revestimentos e semicondutores. As nossas bombas turbomoleculares magneticamente levitadas, livre de manutenção, usam somente rolamentos de segurança de alta qualidade que conferem segurança durante a operação. Até mesmo os ambientes mais severos não são problema para o nossa HiPace graças à sua classe de proteção IP 54. Testes de produto de acordo com o ISO também demonstram que todas as bombas satisfazem as exigências de segurança mais rigorosas. Visão geral das séries e aplicações Análitica Semicondutor Revestimento Indústria Pesquisa & Desenvolvimento n recomendado Microscopia eletrônica Detecção de vazamento Espectrometria de massa Análise de superfície Monitoramento de plasma Análise de gases residuais Litografia PVD (Deposição Física a Vapor) CVD (Deposição Química a Vapor) Corrosão por plasma Implantação Fonte Implantação linha de feixe Inspeção Junção MBE (Epitaxia por Feixe Molecular) load-locks, pré-câmaras, sistemas de manuseamento Display de tela plana (FPD) LED / OLED Revestimento de disco rígido Fotovoltaicos Revestimento de vidro (PVD) Produção de CD / DVD / Blu-ray (PVD) Revestimento ótico (PVD) Proteção contra desgaste (PVD, CVD) Revestimento de malha Tecnologia médica Detecção de vazamento industrial Soldagem por feixe de eletrons Isolação a vácuo Fabricação de lâmpadas e tubos de imagem Tratamento de calor Secagem a vácuo Fornos a vácuo Pesquisa nuclear Tecnologia de fusão Pesquisa de plasma Aceleradores de partículas Simulação espacial Pesquisa criogênica Física de partículas elementares Nanotecnologia Biotecnologia HiPace 300 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 500 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 500 MT n n n n HiPace 700 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n HiPace 800 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n 21

22 HiPace M, ATH 500 M Velocidade de bombeamento e dimensões Velocidade de bombeamento HiPace 300 M, DN 100 HiPace 700 M, DN 160 S [l/s] S [l/s] p [hpa] p [hpa] ATH 500 M, DN 160 HiPace 800 M, DN 200 S [l/s] p [hpa] S [l/s] p [hpa] N 2 He H 2 Ar 22

23 Dimensões HiPace 300 M, DN 100 ISO-F Ø150 DN 16 ISO-KF / G1/4" Ø162 HV DN 100 ISO-F G1/8" HV DN25 ISO-KF x45 (=180 ) Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) 131 ATH 500 M, DN 160 ISO-F Ø 180 HiPace 700 M, DN 160 ISO-F Ø DN 25 ISO-KF / G1/4" 45 G1/8" Ø208 HV DN 160 ISO-F x45 (=180 ) Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) HiPace 800 M, DN 200 ISO-F DN 25 ISO-KF / G1/4" Ø G1/8" Ø208 HV DN 200 ISO-K Ø8 / G1/4" (2x) M8 (6x) x(=180 )

24 HiPace M, ATH 500 M Dados técnicos e números de pedido Dados técnicos bomba turbo Unidade HiPace 300 M ATH 500 M HiPace 700 M HiPace 800 M Diâmetro nominal de conexão Flange (entrada) DN 100 DN 160 DN 160 DN 200 Flange (saída) ISO-KF DN 16 DN 25 DN 25 DN 25 Conexão de ventilação G 1/8 G 1/8 G 1/8 G 1/8 Velocidade de bombeamento para Nitrogênio (N 2) l/s Hélio (He) l/s Hidrogênio (H 2) l/s Argônio (Ar) l/s Taxa de compressão para Nitrogênio (N 2) > > > > Hélio (He) > > > > Hidrogênio (H 2) > Argônio (Ar) > > > > Pressão máx. de pré-vácuo para Nitrogênio (N 2) mbar 20 2,6 8 8 Vazão de gás máx. à velocidade de rotação máx. para Nitrogênio (N 2) mbar l/s Argônio (Ar) mbar l/s Pressão final mbar < < < < Velocidade de rotação RPM Tempo de arranque min < 2 < Tipo de refrigeração, Padrão Água Água Água Água Consumo de água de refrigeração l/min 1,3 1,0 1,3 1,3 Temperatura de água de refrigeração C Tensão de operação 1) V DC 48 ± 5% 48 ± 5% 48 ± 5% 48 ± 5% Potência máx. W Peso kg 13,1 17, ,7 20,8 17,1 21,5 1) com controlador eletrônico integrado Pode encontrar dados técnicos e acessórios adicionais na Internet em: 24

25 Números de pedido bomba turbo HiPace 300 M Interface \ flange DN 100 ISO-K DN 100 ISO-F DN 100 CF-F RS-485 PM P PM P PM P Profibus PM P PM P PM P DeviceNet PM P PM P PM P bomba turbo ATH 500 M ATH 500 M Interface, refrigeração \ flange DN 100 ISO-F DN 100 ISO-K DN 100 CF-F DN 160 ISO-F DN 160 ISO-K DN 160 CF-F Profibus, refrigeração à água VY VY VY VY VY VY Remoto, refrigeração à água V V V V V V Profibus, refrigeração a ar VY VY VY VY VY VY Remoto, refrigeração a ar V V V V V V Tipo de bomba ATH 500 MT ATH 500 MT Interface, refrigeração \ flange DN 100 ISO-F DN 100 ISO-K DN 100 CF-F DN 160 ISO-F DN 160 ISO-K DN 160 CF-F Remoto, refrigeração à água VR VR VR VR VR VR bomba turbo HiPace 700 M Interface \ flange DN 100 ISO-K DN 160 ISO-F DN 160 CF-F RS-485 PM P PM P PM P Profibus PM P PM P PM P DeviceNet PM P PM P PM P bomba turbo HiPace 800 M Interface \ flange DN 200 ISO-K DN 200 ISO-F DN 200 CF-F RS-485 PM P PM P PM P Profibus PM P PM P PM P DeviceNet PM P PM P PM P ATH 500 MT = com gerenciamento de temperatura 25

26 ATH M, ATP 2300 M Bombas Turbomoleculares compactas com levitação magnética na faixa de velocidade de bombeamento entre a l/s Confiável As nossas bombas turbomoleculares da série ATH M e ATP 1) M além de serem magneticamente levitadas, possuem um rolamento ativo de 5 eixos que monitoriza a posição do rotor e regula qualquer desvio da posição original em tempo real. Através desta tecnologia de rolamento de alta qualidade, alcançamos a melhor estabilidade a longo prazo e confiabilidade juntamente com propriedades de operação silenciosas. A tecnologia de rolamento e a orientação das bombas de alto vácuo fazem das nossas séries ATH M e ATP M pontos de referência para turbomoleculares de alto desempenho nos processos de produção de semicondutores, revestimentos e corrosão por plasma assim como em muitas aplicações industriais e de P&D. 1) ATP = sem estágio Holweck ATH 1603 M, com controlador eletrônico OBC V4 ATH 2303 M, com controlador eletrônico OBC V4 ATH 2800 M ATH 3200 M Benefícios para o cliente Vácuo limpo graças a rolamentos magnéticos sem lubrificante Alta vazão de gás para todos os gases de processo Excelente estabilidade e confiabilidade a longo prazo. Alta compatibilidade com bombas de pré-vácuo Alta estabilidade na entrada de ar Baixa despesas devido à tecnologia livre de manutenção Velocidade de rotação selecionável em uma gama larga de RPM para melhor otimização de processos Extremamente baixos o barulho e vibração Pode ser instalado em qualquer orientação Controle contínuo da posição do rotor graças à tecnologia de rolamentos magnéticos 26

27 Alto desempenho Seguro As nossas bombas turbomoleculares magneticamente levitadas são otimizadas para processos de produção em vácuo com alta vazão de gás a uma alta pressão de operação. Em aplicações de P&D, as bombas se distinguem pela sua vibração mínima até mesmo a uma baixa pressão final. Uma rotação em RPM livremente selecionável torna possível ajustes para processo otimizados ou a substituição direta de bombas de alto vácuo antigas por meio da adaptação à sua velocidade de bombeamento. No caso de um corte de energia, o rotor age como um gerador e fornece energia ao controlador, que não usa baterias. A velocidade do rotor é gradualmente reduzida e entra suavemente em modo de rolamento em emergência mecânica. No caso de uma entrada extrema de ar ou de uma falha na conexão entre a bomba e o controlador, os rolamentos de emergência entram em ação. O estado dos rolamentos é monitorizado pelo controlador. Uma válvula de ventilação regulada pelo controlador pode frear o rotor rapidamente e efetivamente, no caso de uma entrada volumosa de ar ou de choque mecânico, o que previne danos na bomba. Os modelos MT na série ATH M têm uma função de gerenciamento de temperatura por meio de um aquecedor integrado. O regulação orientada pelo processo pelo cabo de aquecimento e da água de refrigeração mantém a bomba a uma temperatura constante (até 75 C) para minimizar a condensação de substâncias químicas ou de subprodutos na bomba. Visão geral das séries e aplicações Análise química Semicondutor Revestimento Indústria Pesquisa & Desenvolvimento n recomendado Microscopia eletrônica Detecção de vazamento Espectrometria de massa Análise de superfície Monitoramento de plasma Análise de gases residuais Litografia PVD (Deposição Física a Vapor) CVD (Deposição Química a Vapor) Corrosão por plasma Implantação Fonte Implantação feixe de íons Inspeção Junção MBE (Epitaxia po Feixe Molecular) Load-locks, pré-câmaras, sistemas de manuseamento Display de Tela plana (FPD) LED / OLED Revestimento de disco rígido Fotovoltaicos Revestimento de vidro (PVD) Produção de CD / DVD / Blu-ray (PVD) Revestimento ótico (PVD) Proteção contra desgaste (PVD, CVD) Revestimento de malha Tecnologia médica Detecção de vazamento industrial Soldagem por feixe de elétrons Isolação a vácuo Fabricação de lâmpadas e tubos de imagem Tratamento de calor Secagem a vacuum Fornos a vácuo Pesquisa nuclear Tecnologia de fusão Pesquisa de plasma Aceleradores de partículas Simulação espacial Pesquisa criogênica Física de partículas elementares Nanotecnologia Biotecnologia ATH 1603 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 1600 MT n n n ATH 2303 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 2300 MT n n n ATH 2800 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 2800 MT n n n ATH 3200 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n ATH 3200 MT n n n ATP 2300 M n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n 27

28 ATH M, ATP 2300 M Velocidade de bombeamento e dimensões Velocidade de bombeamento ATH 1603 M, DN 250 ATH 3200 M, DN 320 S [l/s] S [l/s] p [hpa] p [hpa] ATH 2303 M, DN 250 ATP 2300 M, DN 250 S [l/s] 2500 S [l/s] p [hpa] p [hpa] ATH 2800 M, DN 250 S [l/s] p [hpa] N 2 He H 2 Ar 28

29 Dimensões ATH 1603 M, DN 250 ISO-F, com controlador eletrônico integrado OBC V Ø 305 Ø 256 HV DN 40 ISO KF ATH 2303 M, DN 250 ISO-F 35 Ø 245 HV DN 40 ISO KF Ø 312 ATH 2800 M, DN 250 ISO-F 35 HV 48.2 DN 40 ISO KF Ø 367 ATH 3200 M, DN 320 ISO-F 35 HV DN 40 ISO KF Ø 367 ATP 2300 M, DN 250 ISO-F HV DN 40 ISO KF Ø

30 ATH M, ATP 2300 M Dados técnicos e números de pedido Dados técnicos bomba turbo Unidade ATH 1603 M ATH 2303 M ATH 2800 M ATH 3200 M ATP 2300 M Diâmetro nominal de conexão Flange (entrada) DN 250 DN 250 DN 250 DN 320 DN 250 Flange (saída) ISO-KF DN 40 DN 40 DN 40 DN 40 DN 40 Velocidade de bombeamento para Nitrogênio (N 2) l/s Hélio (He) l/s Hidrogênio (H 2) l/s Argônio (Ar) l/s Taxa de compressão para Nitrogênio (N 2) > > > > > Hélio (He) > > > > > Hidrogênio (H 2) > > > > > Argônio (Ar) > > > > > Pressão de pré-vácuo máx. para Nitrogênio (N 2) mbar 1,7 2,9 2,1 2,1 2,1 Vazão de gás para Nitrogênio (N 2) mbar l/s Hélio (He) mbar l/s > 67 > 67 > 84 > 84 > 50 Hidrogênio (H 2) mbar l/s > 67 > 67 > 84 > 84 > 50 Argônio (Ar) mbar l/s > 37 > Pressão final mbar < < < < < RPM RPM Tempo de arranque min < 6 < 8 < 10 < 10 < 8 Tipo de água de refrigeração, Padrão Água Água Água Água Água Consumo de água de refrigeração l/min 1,0 1,0 1,0 1,0 1,0 Temperatura de água de refrigeração C Conexão de alimentação: tensão V AC Consumo de potência máx. W , Peso 1) kg Números de pedido bomba turbo ATH 1603 M ATH 2303 M Interface \ flange DN 200 ISO-F DN 200 CF-F DN 250 ISO-F DN 250 CF-F DN 250 ISO-F DN 250 CF-F Controlador eletrônico externo Y Y Y Y X X OBC V4 Profibus YN56215A YN52215A YN66215A YN62215A XN66215A XN62215A OBC V4 DeviceNet YL56215A YL52215A YL66215A YL62215A XL66215A XL62215A OBC V4 Remoto YJ56215A YJ52215A YJ66215A YJ62215A XJ66215A XJ62215A bomba turbo ATH 2800 M ATH 3200 M ATP 2300 M Interface \ flange DN 250 ISO-F VG 250 DN 320 VG 350 DN 250 ISO-F DN 250 CF-F Controlador eletrônico externo U U26A2100 U2C62100 U2DA2100 T T OBC V4 Profibus TN66215A TN62215A OBC V4 DeviceNet TL66215A TL62215A OBC V4 Remoto TJ66215A TJ62215A 30

31 Dados técnicos bomba turbo Unidade ATH 1600 MT ATH 2300 MT ATH 2800 MT ATH 3200 MT Diâmetro nominal de conexão Flange (entrada) DN 250 DN 250 DN 250 DN 320 Flange (saída) ISO-KF DN 40 DN 40 DN 40 DN 40 Velocidade de bombeamento para Nitrogênio (N 2) l/s Hélio (He) l/s Hidrogênio (H 2) l/s Argônio (Ar) l/s Taxa de compressão para Nitrogênio (N 2) > > > > Hélio (He) > > > > Hidrogênio (H 2) > > > > Argônio (Ar) > > > > Pressão de pré-vácuo máx. para Nitrogênio (N 2) mbar 2,2 2,8 2,1 2,1 Vazão de gás para Nitrogênio (N 2) mbar l/s Hélio (He) mbar l/s > 67 > 67 > 84 > 84 Hidrogênio (H 2) mbar l/s > 67 > 67 > 84 > 84 Argônio (Ar) mbar l/s > 37 > 37 Pressão final mbar < < < < Velocidade de rotação RPM Tempo de arranque min < 6 < 8 < 10 < 10 Tipo de água de refrigeração, Padrão Água Água Água Água Consumo de água de refrigeração l/min 1,0 1,0 1,0 1,0 Temperatura de água de refrigeração C tensão de alimentação V AC Consumo de potência máx. W Peso 1) kg ) Peso incluindo controlador eletrônico 8 kg Pode encontrar dados técnicos e acessórios adicionais na Internet em: Números de pedido Tipo de bomba ATH 1600 MT ATH 2300 MT Interface \ flange DN 200 ISO-F DN 200 CF-F DN 250 ISO-F DN 250 CF-F DN 200 ISO-F DN 250 ISO-F DN 250 CF-F Controlador eletrônico externa P P P P Q Q Q OBC V4 Profibus PM56215A PM52215A PM66215A PM62215A QM56215A QM66215A QM62215A OBC V4 Remote PI56215A PI52215A PI66215A PI62215A QI56215A QI66215A QI62215A Tipo de bomba ATH 2800 MT ATH 3200 MT Interface \ flange DN 250 ISO-F VG 250 DN 320 ISO-F VG 350 Eletrônica de acionamento externo U U66A2100 U6C62100 U6DA2100 Mais configurações mediante solicitação. 31

32 Soluções de vácuo de uma única fonte Segmentos de mercado e aplicações A solução de vácuo Prover soluções significa entender o cliente. Um vácuo não é apenas igual a outro vácuo, a chave está nas exigências específicas. Qual processo deve ser usado e com quais materiais para produzir os resultados esperados? Sobre quais condições ambientais? Os nossos clientes exigem resultados sofisticados e inteligentes - e com muita razão. Seus processos a vácuo necessitam bombas com estabilidade e pouca manutenção, assim como reduzidos consumos de energia e de recursos. Uma solução de vácuo completa cobre todos os processos e passos envolvidos na criação de condições de vácuo perfeitas, incluindo a recomendação, produtos, acessórios, programas e serviços de treino para aplicações. As exigências dos nossos clientes normalmente envolvem um alto nível de complexidade. Eles não só incluem as exigências de vácuo precisas mas também necessidades específicas para todo o sistema, os materiais e produtos a serem usados e processados, assim como as condições dos processos. É por isto que nós desenvolvemos soluções de vácuo sob encomenda em parceria com os nossos clientes. Semicondutor Sistema de sputter Benefícios para o cliente Intervalos de manutenção extra longos Baixo consumo de energia das bombas de vácuo Serviço local para todas as linhas de produtos, a partir de uma única fonte 32

33 Soluções de vácuo de uma única fonte Segmentos de mercado e aplicações Indústria Detecção de fuga Benefícios para o cliente Detecção de pequenos vazamentos Alta reprodutibilidade Alta vazão de gás e tempos de ciclo rápidos Máximo benefício ambiental Serviço local para todas as linhas de produtos, a partir de uma única fonte Pesquisa e Desenvolvimento Acelerador Benefícios para o cliente Alta confiança Solução especial para aplicações de aceleradores Resistente à radiação Manutenção fácil A mais alta qualidade e disponibilidade Serviço local para todas as linhas de produtos, a partir de uma única fonte 33

34 Soluções de vácuo de uma única fonte Segmentos de mercado e aplicações Revestimento Revestimento de vidro Benefícios para o cliente Excelente economia graças a um desenho de bomba otimizado Disponibilidade alta devido à robustez A maior gama de produtos em tecnologia de vácuo Serviço local para todas as linhas de produtos, a partir de uma única fonte Análise Espectrometria de massa Benefícios para o cliente Seleção de componente especialmente coordenada Interfaces comuns e controle fácil Sincronização de geração de vácuo e medição Serviço local para todas as linhas de produtos, a partir de uma única fonte 34

35 Soluções de vácuo de uma única fonte Segmentos de mercado e aplicações evacuum App Utilidade filmes Seletor de câmara evacuum Benefícios para o cliente Ponto de contato central para perguntas relativas a tecnologia de vácuo para clientes e funcionários Consulta interativa, inclusiva e simples Seletor de produtos Literatura de vácuo Compêndio 35

36 Soluções de vácuo de uma única fonte Visão geral do produto 36

37 Soluções de vácuo de uma única fonte Visão geral do produto Geração de vácuo Bombas de palhetas Bombas turbomolecualres Estágio Único dois estágios rolamento Híbrido Levitação Magnética Multi-estágio UnoLine Plus 250 até 500 m 3 /h HenaLine 25 até 1,000 m 3 /h Pascal 5,4 até 15 m 3 /h PentaLine 22 até 34 m 3 /h DuoLine 1,25 até 250 m 3 /h Pascal 5,4 até 60 m 3 /h HiPace 10 até 2,000 l/s ATH M/HiPace M 255 até 2,800 l/s SplitFlow de acordo com exigência Bombas de Diafragma Bombas de Pistão Bombas Parafuso Bombas Roots refrig. a ar Refrig. a gas Estações Roots Com bomba de um estágio Com bomba de dois estágios Com bomba seca Estação compacta MVP 0,25 até 96 m 3 /h XtraDry 7,5 até 13 m 3 /h HeptaDry 110 até 525 m 3 /h OktaLine 250 até 25,000 m 3 /h OktaLine G 250 até m 3 /h CombiLine WU até mbar CombiLine WD até mbar CombiLine WH até mbar LRS 150 até m³/h Bombas de canal lateral Bombas Roots multi-estágio Estações turbo Carga leve Carga média Carga pesada Compactas Padrão Alto desempenho OnTool Booster 130 m 3 /h ACP Seco e compacto A 100 L Integrado bomba de load loack ACP 120/ACG 600 Seco, para indústria Série A3P bomba de processo econômica Série A3H para indústria de semi HiCube Eco 35 até 67 l/s HiCube Classic 35 até 685 l/s HiCube Pro 35 até 685 l/s, Rápido tempo de bombeamento 37

38 Soluções de vácuo de uma única fonte Visão geral do produto Medição de vácuo Equipamento de medição Análise em vácuo Equipamento de análise Analógico Digital Modular RGA Análise gases Análise de Plasma ActiveLine Medição de pressão total DigiLine Medição de pressão total ModulLine Medição de pressão total para P&D PrismaPlus Espectrômetro de massa Faixa de massa uma HiQuad Espectrômetro de massa Faixa de massa uma OmniStar sistema de análise compacto de bancada HPA Analisador para pressão alta Faixa de pressão até 50 mbar SPM Monitor de processos de sputter Faixa de pressão até 10 mbar PPM Monitor de Processos de Plasma uma Detecção de vazamento Detetores de vazamento Portátil Compacto De alto desempenho MiniTest- Mobile, até mesmo para ambientes severos ASM 310 Uso móvel em serviço ASM 340 Versátil e de alto desempenho ASM 340 D Versátil e de alto desempenho ASM 380 Seco e móvel ASM 182 T Padrão industrial robusto ASM 192 T Dispositivos de console Detetores de vazamento Estação Modular Detecção de vazamento por cheirador ASM 1002 Estação ergonometrica ASI 30 Sistemas industriais ASM 102 S Seco e portátil 38

39 Soluções de vácuo de uma única fonte Visão geral do produto Componentes de vácuo Câmaras Componentes, válvulas, manipuladores Padrão Personalizado componentes Mangueiras e conectores Elementos em vidro elementos específicos Válvulas Passadores Manipulador TrinosLineCubical, horizontal/ vertical, modular TrinosLine Personalizado para aplicações específicas de clientes ISO-KF, ISO-K, ISO-F, CF, COF ISO-KF, ISO-K, CF ISO-KF, ISO-K, ISO-F, CF Personalizado para aplicações específicas de clientes Válvulas de isolação, Válvulas de dosagem de gás Corrente/tensão, fluidos, isoladores, combinações Movimentos X-, Y-, Z-, rotação, inclinação Tecnologia de sistema Construção da planta Soluções Soluções de serviço Soluções de Gestão de contaminação Processo de vácuo revestimento Sistemas de deteção qualidade mundial APA Monitoramento de contaminação APR Tecnologia de remoção Vacu 2 Para processos de fundição Sistemas de Revestimento Sistemas completos Representantes mundiais Peças originais Cursos de treinamento Manutenção Consultoria competente Aplicações Produtos evacuum Sabedoria Experiência Proximidade com o Cliente Dimensionamento Engenharia Website App 39

40 Soluções de vácuo de uma única fonte A Pfeiffer Vacuum representa soluções de vácuo inovadoras e personalizadas em todo mundo, perfeição tecnológica, consultoria competente e serviço de confiança. Gama completa de produtos De um único componente até sistemas complexos: Nós somos o único fornecedor de tecnologia de vácuo com um portfolio de produtos completo. Competência teórica e prática Beneficie da nossa experiência e do nossa portfolio de oportunidades de treinamento! Nós o apoiamos com seu plano de equipamento e fornecemos serviço local de primeira classe, em todo mundo. Está procurando uma solução de vácuo perfeita? Contacte-nos: AVACO - Tecnologia em Vácuo Av Pedro Bueno, Pq. Jabaquara São Paulo - Brasil T contato@avaco.com.br Todos os dados estão sujeitos a alterações sem aviso prévio. PT 0191PPT (Maio 2013/25)